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●スパッタ使い集まれ！●

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0001名も無きマテリアルさん

NGNG

スパッタで何を作製してますか？

0002名も無きマテリアルさん

NGNG

IBSでPFN

0003名も無きマテリアルさん

NGNG

PFNって何？

0004名も無きマテリアルさん

NGNG

ところでターゲットはどこから買ってる？

0005名も無きマテリアルさん

NGNG

コンビニ

0006Ｙ本

NGNG

東名道伝馬区伊藤をつくってまふ

0007ふにふに

NGNG

>>4
プレス器で自分でつくる。
三菱マテリアルのは高い

0008名も無きマテリアルさん

NGNG

合金薄膜してる

0009名も無きマテリアルさん

NGNG

>>3　PFNは、Pb(Fe1/2Nb1/2)O3のPb系ペロブスカイト化合物です。

0010なんでも略すなﾎﾞｹ！！

NGNG

２よ、IBSはイオンビームスパッタなのだな。
PFNそんなマイナーなものは聞いたことない。
もっとメジャーなペロブスカイトはいくらでもあるだろ
チタバリとか。。。

0011名も無きマテリアルさん

NGNG

モナーとか作ってる

00122

NGNG

>>10　スマソ。確かに略しすぎるのはあまりよくないですね。

0013名も無きマテリアルさん

NGNG

アルミナ

0014名も無きマテリアルさん

NGNG

アルミナってアルミの原料となるやつだっけ？

0015名も無きマテリアルさん

NGNG

アホは氏んでくれないかなぁ

0016名も無きマテリアルさん

NGNG

アルミナはアルミの表面にできる酸化膜です。

0017名も無きマテリアルさん

NGNG

アホは氏んでくれないかなぁ

0018名も無きマテリアルさん

NGNG

ボーキサイトと勘違いした。。鬱だ。

0019名も無きマテリアルさん

NGNG

Ge/Siの多層膜作ってるよ。
IBSやってる人たち
加速グリッドとターゲットの電位の関係教えてくれませんか?
イオンガン＝アース
加速グリッド＝－5kV
タ－ゲット＝-10kVの
うちの器材はおかしいとおもうのですがどうですか?

0020名も無きマテリアルさん

NGNG

金属膜やってる人はいないのか？

0021名も無きマテリアルさん

NGNG

昔BaTiO3のスパッタやってたよ。Fe-RAM向けの高誘電体膜作るのに。

単なる高周波プラズマに磁界かけてイオン密度上げてましたが。
バイアスで基板もたたき、イオン衝撃のパッキング効果で
低温結晶化を狙ってました。基板温度200度で結晶化した。
でも、イオン衝撃ゆえ内部欠陥が多くて、バルク比の誘電率は悪かったなぁ

今はゾルゲルかcat-CVDのほうが基板に低ダメージでいいみたいだね。

0022名も無きマテリアルさん

NGNG

膜厚測定はどうやってる？
うちは水晶振動子で測定してるけど、精度が悪そうで・・・

0023名も無きマテリアルさん

NGNG

>>22
Q振動子はあくまで目安じゃないかな？
後はエリプソや膜厚計できっちり詰めると。

0024名も無きマテリアルさん

NGNG

http://www.inkando.com/cgi-rankingplus/rankin.cgi?id=0511030508

0025名も無きマテリアルさん

NGNG

FTS、マンセー

0026名も無きマテリアルさん

NGNG

ヘリコンマンセー

0027名も無きマテリアルさん

NGNG

削ってる。
ただ、ひたすら削る

0028名も無きマテリアルさん

NGNG

>>22
水晶振動子使うと便利だね
でも掃除中に腕が当たったりするとまた設定し直さないといけない。

0029名も無きマテリアルさん

NGNG

めんどくないっすか

0030名も無きマテリアルさん

NGNG

確かにめんどい

0031名も無きマテリアルさん

NGNG

水晶振動子は精度イマイチ
透明膜なら透過or反射でin-situモニタがええの

0032名も無きマテリアルさん

NGNG

RHEEDとか使ってる方いません？

0033名も無きマテリアルさん

NGNG

age

0034名も無きマテリアルさん

NGNG

3○1○使ってる人っていますか?

0035名も無きマテリアルさん

NGNG

DCを買おうか、RFを買おうか
もっといいものは無いのか？
ECRか？マイクロ波電源高いのか？

0036名も無きマテリアルさん

NGNG

>>35
対向ターゲットもお忘れなく！

0037名も無きマテリアルさん

NGNG

>>31　　精度いまいち
ﾊｹﾞﾄﾞｳ

0038名も無きマテリアルさん

NGNG

セラミックスの薄膜作ってます。
できた膜はもろ干渉縞が見えるんですけど、
膜厚を均一にする簡単な方法ってないんですかねぇ……

0039名も無きマテリアルさん

NGNG

>>32
お前、俺と同じ・・・・

0040名も無きマテリアルさん

NGNG

>>38
基板を高速回転させるってのはダメ？

0041名も無きマテリアルさん

NGNG

セラミック上に金属膜をスパッタする時、
スパッタ前にプラズマ処理すると金属膜の付着力って
あがるのですか？

0042名も無きマテリアルさん

NGNG

age

0043名も無きマテリアルさん

NGNG

>>41

スパッタ法じゃないけど、イオンビームでクリーニングするよ。
しないと、気持ち悪い。
やりすぎても、良くないような気がする。

0044名も無きマテリアルさん

NGNG

＞41
場合によっては上がるかもね。有機物が飛んでるんでしょう。

0045名も無きマテリアルさん

NGNG

チタンクリーンウェハーに代わるウェハーをクダサイ

0046山崎渉

NGNG

（＾＾）　

0047名も無きマテリアルさん

NGNG

質問版じゃないのに質問して悪いのですが、
ターゲットにぶつかるArの数とターゲットから出てくるIn2Ｏ3の数は、どのような
関係にあるのか教えてください。
お願いします。

0048名も無きマテリアルさん

NGNG

スパッタって堆積速度速いの？
毎分１μｍ位いくの？

0049名も無きマテリアルさん

NGNG

>>48　いかないよ。よくてその1/100。

0050名も無きマテリアルさん

NGNG

＞４８
俺は2時間やって200nmだなぁ。

ところで、薄膜作るのに、スパッタの利点ってナニ？
他にもCVDとかで薄膜って作れるよね？
物性初心者なもんで･･･

0051幹部社員様＠F通電デバ

NGNG

スパッタ～？何だ、そりゃ？
金にもなりゃしない
こりゃ、傑作、ひゃっひゃっひゃ

0052名も無きマテリアルさん

NGNG

>>51
死ね
http://mnfuji2.hp.infoseek.co.jp/

0053名も無きマテリアルさん

NGNG

>>50
薬品とかに浸さないからスパッタしたい材料が変質しない。
薬品を使わないCVDプロセスより低温で済むっていうのも変質しない理由かな。
堆積速度は惨敗だけどね

0054名も無きマテリアルさん

NGNG

>>50
MBEやCVDに比べるとメンテも含めてお手軽
薄膜作製方でも群を抜くコストの安さ
大面積の膜が作れる
かと・・・

0055世直し一揆

NGNG

＜血液型A型の一般的な特徴＞（見せかけの優しさ・もっともらしさ（偽善）に騙され
るな！）
●とにかく気が小さい(神経質、臆病、二言目には「世間」、了見が狭い）
●他人に異常に干渉する（しかも好戦的・ファイト満々でキモイ、自己中心）
●自尊心が異常に強く、自分が馬鹿にされると怒るくせに平気で他人を馬鹿にしようとす
る（ただし、相手を表面的・形式的にしか判断できず(早合点・誤解の名人)、実際には
たいてい、内面的・実質的に負けている）
●本音は、ものすごく幼稚で倫理意識が異常に低い（人にばれさえしなければＯＫ）
●「常識、常識」と口うるさいが、実はA型の常識はピントがズレまくっている（日本
の常識は世界の非常識）
●権力、強者（警察、暴走族…ｅｔｃ）に弱く、弱者には威張り散らす（強い者に弱く
、弱い者には強い）
●あら探しだけは名人級（例え10の長所があってもほめることをせず、たった１つの短所を見つけてはけなす）
●基本的に悲観主義でマイナス思考に支配されているため性格がうっとうしい（根暗）
●一人では何もできない（群れでしか行動できないヘタレ）
●少数派の異質、異文化を排斥する(差別主義者、狭量）
●集団によるいじめのパイオニア＆天才(陰湿＆陰険）
●悪口、陰口が大好き（Ａ型が３人寄れば他人の悪口、裏表が激しい）
●他人からどう見られているか、人の目を異常に気にする（「世間体命」、「～みたい
」とよく言う）
●自分の感情をうまく表現できず、コミュニケーション能力に乏しい（同じことを何度
も言ってキモイ）
●表面上意気投合しているようでも、腹は各自バラバラで融通が利かず、頑固(本当は
個性・アク強い）
●人を信じられず、疑い深い（自分自身裏表が激しいため、他人に対してもそう思う）
●自ら好んでストイックな生活をし、ストレスを溜めておきながら、他人に猛烈に嫉妬
する（不合理な馬鹿）
●執念深く、粘着でしつこい（「一生恨みます」タイプ）
●自分に甘く他人に厳しい（自分のことは棚に上げてまず他人を責める。しかも冷酷）
●男は、女々しいあるいは女の腐ったみたいな考えのやつが多い(例：「俺のほうが男
前やのに、なんでや！（あいつの足を引っ張ってやる！！）」）

0056名も無きマテリアルさん

NGNG

>>50
成膜中の安定度が良いところかなぁ? まあ、それが必要な場合って
それほどないんだけど..
IBSD つかってるんだけど時間制御だけで厚さ10nm の膜の成膜で
膜厚誤差 1% 工夫してやって0.2% まで追い込めました。

0057名も無きマテリアルさん

NGNG

干渉縞ってなんですか？質問ですいません

0058名も無きマテリアルさん

NGNG

ターゲット作ってるんだけど割れるよー・・・・。
皆様は何㌧ぐらいで押されているのでしょうか？
バインダーとか使っているのでしょうか？

0059山崎渉

NGNG

（＾＾）

0060山崎渉

NGNG

　　 ∧＿∧
　　（　　＾＾）＜ぬるぽ（＾＾）

0061山崎渉

NGNG

━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅（＾＾）]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

0062山崎渉

NGNG

━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅（＾＾）]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

0063山崎渉

NGNG

　　　　∧＿∧
ﾋﾟｭ.ｰ　(　　＾＾）＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
　　＝〔~∪￣￣〕
　　＝ ◎――◎ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎渉

0064名も無きマテリアルさん

NGNG

FePt合金膜作ってます。

0065山崎渉

NGNG

　__∧＿∧_
　|（　　＾＾）|　＜寝るぽ（＾＾）
　|＼⌒⌒⌒＼
　＼ |⌒⌒⌒~|　　　　　　　　　山崎渉
　　 ~￣￣￣￣

0066山崎渉

NGNG

　__∧＿∧_
　|（　　＾＾）|　＜寝るぽ（＾＾）
　|＼⌒⌒⌒＼
　＼ |⌒⌒⌒~|　　　　　　　　　山崎渉
　　 ~￣￣￣￣

0067名も無きマテリアルさん

NGNG

>>50
３０minで数百ナノいきまちた。＞＞某ペロブスカイト

0068ぼるじょあ ◆yBEncckFOU

NGNG

　　　　∧＿∧　 ∧＿∧
ﾋﾟｭ.ｰ　（　・３・） (　　＾＾）＜これからも僕たちを応援して下さいね（＾＾）。
　　＝〔~∪￣￣￣∪￣￣〕
　　＝ ◎――――――◎ 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎渉&ぼるじょあ

0069山崎渉

NGNG

　　　 (⌒V⌒)
　　　│ ＾＾ │＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
　　⊂|　　　　|つ
　　　（＿）（＿）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　山崎パン

0070名も無きマテリアルさん

NGNG

プレスパだり～よ～

0071名も無きマテリアルさん

NGNG

スーパーマロイ薄膜を作りたいんだけど、２μくらい堆積させると膜が基板から
剥がれてしまう。これじゃ厚すぎるのかな？

0072superman

NGNG

sithdquu.ddfrff,

0073super

NGNG

スーパーマーケッツ・ゼネラル ((米国のスーパーマーケット会社)).

0074名も無きマテリアルさん

NGNG

ttp://ftvjapan.ddo.jp/~funa/sha/s-data/angelarea/img/o20040303215331zm6.jpg

0075age

NGNG

>22
水晶振動子はあくまでも目安。
干渉計かエリプソがベター

>38

どうしてもエロージョンの部分が厚くなるからねぇ。
マグネトロンスパッタなら、なるべく水平磁場を増やすとかか・・
>41
基板が何のセラミックか知らないけど、基板と作製膜の
応力を考えてみたら？あとは、作製膜の格子定数に近い
金属をアンダレイヤにするとか。

>48
最近はNiで1μは越えるみたいだぞ？

>64
同じくFePt膜作ってます。
最近as-depo.で垂直磁化膜できたぞ！
保磁力はアボンだが・・・

そのうちAPLに飛ばすから、ご期待あれｗ

0076名も無きマテリアルさん

NGNG

膜圧なんてSEMで計ればええやん。

0077名も無きマテリアルさん

NGNG

>>75　いつ投稿するんだい？期待age

>>76　確かにな。

0078名も無きマテリアルさん

NGNG

いんさいちゅうで測れないとな。

0079名も無きマテリアルさん

NGNG

>>57
ニュートンリングのこと？
それとも段差による干渉縞のこと？

>>58
作製法や材料にもよるだろうケド、圧力印加だけじゃ
きびしいのでは？プラズマシンタリングでもしてみれば？
もっともよっぽどコンディション整えないと、酸素だらけ
のターゲットになるだろうケド・・・・

>>76
SEMは目安でしかない。
ある程度の精度が欲しかったら、エリプソか干渉計。
ナノオーダーでの精度なら、小角XRDかな？
方法その他は自分で調べれ。

0080名も無きマテリアルさん

NGNG

密着強度ってどうやって測ってるの？

0081名も無きマテリアルさん

NGNG

>>80
いろいろ。教科書としては東大出版会の
『薄膜トライボロジー』あたりがおすすめ。

0082名も無きマテリアルさん

NGNG

SiO2スパッタ後の再成長がうまくいきません。
スパッタで基板表面に傷ついてるのかな？

0083名も無きマテリアルさん

NGNG

Pt/MgOすぱったエピ可能。Cuも可

0084名も無きマテリアルさん

NGNG

Alターゲットを使ってスパッタすると
何故かターゲットが黒色化。
ｼｮﾎﾞｰﾝ(´・ω・`)

0085名も無きマテリアルさん

NGNG

>>84
酸化してるよそれ。

0086名も無きマテリアルさん

NGNG

マイナス７乗トールまで半日かかりまつ

0087名も無きマテリアルさん

NGNG

>>86

ポンプどこの製品のどんなタイプ使ってるの？
真空計に吸着があるじゃなくって？？？？

0088名も無きマテリアルさん

NGNG

ガラス基板にアルゴンガスだけで常温スパッタしてSiC膜を作ると、
なんでSiC膜は電気を通すようになるのですか？

0089名も無きマテリアルさん

NGNG

卒業できるかな・・・俺には無理だよ先生、ていうかこれホントに作れるのですか・・・

0090名も無きマテリアルさん

2005/05/14(土) 16:07:50

TiO2

0091まりい

2005/06/17(金) 13:00:31

アルミと炭素の複合膜作ってる人いない？

0092ともひさ

2005/06/17(金) 13:06:50

硬度120GPaのCN膜作ってよ。

0093ともひさ

2005/06/20(月) 19:16:43

帰るなよ・・・

0094まりい

2005/06/22(水) 16:53:07

>>93
忙しいからしょうがないんでない？

0095ともひさ

2005/06/22(水) 17:54:27

また名もなきピークを検出してしまった・・・。
そしてまた地味に更新してしまった。

0096まりい

2005/06/22(水) 18:16:36

まず練習

0097ともひさ

2005/06/22(水) 18:18:43

んじゃやっぱり練習

0098まりい

2005/06/22(水) 18:22:21

rfスパッタどdcスパッタはどっちがいいの？

0099まりい ◆qgLMAtxwBw

2005/06/22(水) 18:28:55

冷却水って水道水でホントにいいの？

0100ともひさ ◆qgLMAtxwBw

2005/06/22(水) 18:30:30

ダメなの？

0101◇ともひさ ◆qgLMAtxwBw

2005/06/22(水) 18:32:31

センスがいいでしょ？

0102まりい

2005/06/24(金) 11:27:57

最近注目の薄膜ってなによ？

0103ともひさ

2005/06/24(金) 11:29:40

切削する友人の図・・・
フェードアウトしてゆく・・・

0104777

2005/06/29(水) 17:14:24

①干渉縞
　　基板やそれ相応のものの、平面度を簡易的に測定するもので
　　例えば、ガラスでもセラミックでもいいんだが、オプティカル
　　フラットを乗せると、上から見たら縞が出来る。それが干渉縞。
②最近の流行
　　ＧａＮかな？ＺｎＯでもいいね。
③水道水
　　うーーん、チラーはいると思う。水道水なら朝晩で温度が変わる
　　んでねぇ。またフィルターは必要だと思う。
④ポンプ
　　クライオポンプだな
⑤ＳｉＣ膜
　　体積固有抵抗は１０の何乗？温度上げれば体積固有抵抗値は下がるが・・
⑥ＣＮ膜
　　工具に使用するの？
⑦酸化する
　　Ａｌはすぐ酸化するんでね（錆びる）一回表面をきっちり洗浄して
　　やらないと酸化するんでしょね。アルマイト処理とかやってる？
⑧垂直磁気膜
　　おーーいいねえ　小型ＨＤＤはこれでしょ？
⑨密着強度
　　もっとも簡単なのは、カッターで傷を入れてセロテープを張って
　　ぱっとめくる方法　これでもちゃんとしたです。クロスなんとか
　　って方法。

　

0105777

2005/06/29(水) 18:35:31

ＣＮはＧａＮのバッファーになる？

0106名無し

2005/07/01(金) 03:24:28

＞基板が何のセラミックか知らないけど、基板と作製膜の
応力を考えてみたら？あとは、作製膜の格子定数に近い
金属をアンダレイヤにするとか。

基板のヤング率と膜のヤング率、温度、外形で
たわみは計算できると思う
基板の材質は何か？

0107名も無きマテリアルさん

2005/07/08(金) 11:41:44

ＣＮは工具で使いたいのだ！！

0108名も無きマテリアルさん

2005/07/08(金) 20:30:23

GaNはバッファいらないよ

0109名も無きマテリアルさん

2005/07/14(木) 19:26:34

あげ

0110名も無きマテリアルさん

2005/07/14(木) 19:27:13

0111名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 13:48:41

スパッタの長所と短所が知りたいです
教えてくださいませ

0112名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 13:50:58

長所：シャッターの取り付けが楽しい。
短所：シャッターの掃除が面倒。

0113名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 13:53:27

>>111
シャッターの取り付けって面白いんですか？
スパッタ以外の成膜方法はシャッター無いんですか？
シャッターを愛してるんですか？

0114名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 13:56:39

一発で角度があうと最高である。
そして君の心のシャッターを開こう！！(ﾟ∀ﾟ)!!

世界中のシャッターに愛を！！

0115名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 13:58:31

>>112

シャッター閉じるなよ。。。。
さびしいやんか。。。。

0116名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 13:59:46

そしてターボリークしないでよ・・・

0117名も無きマテリアルさん

2005/07/20(水) 23:26:19

スパッタでチタン電極つけられますか?

0118名も無きマテリアルさん

2005/07/21(木) 02:01:30

>>117
報告例はくさるほどあるかと思われ。

0119名も無きマテリアルさん

2005/07/21(木) 14:53:48

スパッタリングで半導体レーザの端面ARコーティングをしたいのですが、
ターゲット材料をご存知の方はいませんか？

0120名も無きマテリアルさん

2005/07/21(木) 19:11:56

DCスパッタとRFスパッタならどっちがいいのかな？
カーボン系の薄膜作るとしたらの場合だけど

0121名も無きマテリアルさん

2005/07/21(木) 20:36:54

＞117
普通に可能だろ？酸化するほうがやっかい

0122117

2005/07/22(金) 01:17:34

融点が高くてうちではできないようだ。
Eガン使えってさ。

0123名も無きマテリアルさん

2005/07/22(金) 02:08:50

>>119-120
もう少し材料を限定しないと答えられないよ。
>>119
レーザに使う半導体の屈折率から、ARコートの光学条件を
満たす屈折率を持つ材料をまず探す。
後は濡れ性の問題などで絞っていく。
>>120
カーボン系は範囲広すぎ。
少なくとも絶縁膜をつけるのならば、DCはありえん。

0124名も無きマテリアルさん

2005/07/22(金) 02:11:34

>>117
融点が高いからスパッタできないって言われたのか？
意味不明だぞ。

0125名も無きマテリアルさん

2005/07/22(金) 11:15:11

0126名も無きマテリアルさん

2005/07/25(月) 16:38:07

蒸着だってチタンならフィラメントから普通にサブリメーションするしな。
まあ真空度が悪いとそのままゲッタポンプになっちまうがｗ

0127名も無きマテリアルさん

2005/07/27(水) 04:56:43

真空が引けねー！

0128名も無きマテリアルさん

2005/08/01(月) 17:09:12

0129名も無きマテリアルさん

2005/08/09(火) 15:29:16

　　　 ∧＿∧　 ∧＿∧
ﾋﾟｭ.ｰ　（　・３・） (　　＾＾）＜これからも僕たちを応援して下さいね（＾＾）。
　　＝〔~∪￣￣￣∪￣￣〕
　　＝ ◎――――――◎ 　　　　　　　　　　　

0130名も無きマテリアルさん

2005/08/29(月) 04:33:29

スパッタ使いの皆さんに質問です。
膜の結晶性や付着強度は、スパッタされる原子/分子が基板に
衝突する際のスピード(運動エネルギーか)が大きいほどに良くなるみたい
ですけど、そうなるのは何ででしょうか？
あと、同じように基板温度も高いほうが良いとされるのは何でですか？？

　

0131名も無きマテリアルさん

2005/08/30(火) 00:58:35

成長中の膜表面での原子の運動が激しくなると、よりエネルギーの低い、
安定な位置に落ちつくから、というのが一番もっともらしい説明でせう。

ただエネルギーが大きいほど良いわけではない。大きすぎるとこんどは
成長が完了した下地にダメージが入ったりするので。温度も高すぎると
熱歪の問題とかいろいろ出てきますな。

0132名無しさん＠そうだ選挙に行こう

2005/09/11(日) 22:47:05

そんなことよりフタ開けたまま荒引きしちゃったじゃねーか

0133名も無きマテリアルさん

2005/09/21(水) 14:15:44

0134名も無きマテリアルさん

2005/10/18(火) 15:21:01

光学用途で酸化物をRFスパッタしてるんですが，厚くしてくと
表面が粗くなってしまいます．そこでイオンビーム銃をいれて
基板をたたきながら着けたらどうかなあと考えているのですが
ダメですか・・・

お釜の構成上，イオンビームスパッタにするのは難しいで津

0135名も無きマテリアルさん

2005/10/19(水) 18:20:54

基板に RF バイアスをかけてみるのがよろしいんじゃないでしょーか。

0136名も無きマテリアルさん

2005/10/20(木) 10:04:01

>>135
サンクスです．でも特殊な形をしている基板につけるので
基板は宙に浮いてるんです．基板近くに電極をもってきて
バイアスをかけても効きますか？

やってみないとわからないと言われそうですが．．．

0137名も無きマテリアルさん

2005/10/20(木) 22:23:30

>>136
それは効果がないかと。「基板に RF バイアス」というのは、
基板に入射するイオンのエネルギーを大きくすることが目的ですから。

イオン源で叩くのも効果はあるでせう。圧力が高いと散乱しちゃって
だめでしょうが。例えばガンと基板の距離が 10 cm だとすると、
目安として 0.5 Paより低いくらいでないと効果は少ないと思います。

膜を付けるプロセスが問題なのではなく、突いたブツがあればいい、
ということなら、プラズマ溶射などの方が良いかもしれません。

0138名も無きマテリアルさん

2005/10/21(金) 09:15:35

>>137
たびたびサンクスです．やっぱりバイアスはダメですか．

今は放電ぎりぎりの０．３Paくらいでスパッタしてます．
とりあえずイオン源つかってみます．酸化物をつけるので
酸素をとばすか，アルゴンで叩くか，とりあえずやってみます．

効果なかったらチャンバをいじって，イオンビームでターゲット
をスパッタできるように変更するつもりです．スパッタレートは
かなり落ちそうですが．．．

溶射はやったことありませんが，粗面ができるイメージがあり
ます．そうでもないんでしょうか？欲しいのは厚さ１０ミクロン程度
で数ｎｍ（ＲＭＳ）の表面粗さです．

0139名も無きマテリアルさん

2005/10/22(土) 01:02:43

>>138
10um で rms 数 nm というのはかなりシビアですね (というか
ちゃんとできたらそれだけでも結構インパクト大きそう)。
柱状成長をしちゃうような領域 (Thornton モデルでいうところの
zone 1) では、射影効果が出ちゃってまず無理でしょうから、
目論見の通りエネルギーを与えるか温度を上げるか、ということに
なるのでしょうけど…

溶射はドロップレットが乗るとザラザラになってしまいますが、
うまいこと荷電粒子だけを曲げて基板にあたるようにすると、
かなり付着原子あたりのエネルギーを大きくできるのだそうです。
某学会の展示会でのメーカーのひとのコメントの受け売りですが。

0140名も無きマテリアルさん

2005/10/24(月) 12:03:48

>>139
どうもです．とても参考になります．

「数nm」は言いすぎかな．とりあえず10nmをきる位が欲しいです．
今は30nm以上です．結局のところは基板が平面でないという
ところがネックです．「Thornton モデル」は良く知らないのですが
実は理論的に言ってもムリなのかもしれません．まあとりあえずは
別の逃げ道も考えながら，できるところまでやってみます．
イオン銃手配しました．年明けには入りそうです．

溶射の方も了解です．ドロップレットを着けるのが溶射かと思っていた
私が無知でした．進歩していたのですね．

0141チャンバーは清潔に

2006/01/29(日) 11:32:57

スパッタでつけたAlが剥がれるのだが防止策はないか？

0142名も無きマテリアルさん

2006/01/29(日) 12:35:05

基板が汚いんじゃないのか。有機物なんかが付着してると
はがれやすいよ。ちゃんと前洗して製膜してる？

0143チャンバーは清潔に

2006/01/30(月) 10:49:18

ITOの上につけたいのだがITOの基板をアセトンに浸して超音波洗浄器5分
⇒イソプロピルアルコールに浸して超音波5分⇒表面N2ガスで飛ばして　ホットプレート120℃　2分
すべてＣＲ内で行っているです

0144名も無きマテリアルさん

2006/02/01(水) 22:38:46

そんだけやってるなら、汚れのせいじゃなさそうだね。
一応聞くけど、逆スパッタもやってるよね？
密着力の高いクロムとかで積層できない？
ＥＬとかに使うんなら仕事関数変わるからダメだけど。

0145チャンバーは清潔に

2006/02/05(日) 12:16:26

逆スパッタの機構がないんです。
うちのヘリコン・・・
Crのバッファ層かぁ
今のところELではなく太陽電池ダイオードなので考えて見ます。
助言Thanks

0146チャンバーは清潔に

2006/03/20(月) 18:05:16

次は有機膜の上に何をつけようか・・・

0147剥離万歳

2006/11/18(土) 17:28:00

成膜時の基板温度ってどのくらいですか？
ちなみにうちのRFでは200℃くらいでやっているんですが、
これってどーよ！？

0148名も無きマテリアルさん

2006/11/28(火) 20:14:19

スパッタ薄膜の抵抗温度係数ってなんで負になることが多いんですか？

0149名も無きマテリアルさん

2006/12/05(火) 18:36:52

FTOにつけたらええやん

0150名も無きマテリアルさん

2006/12/07(木) 08:53:28

Mighty MAK 1.3"というスパッタソースでZnS:Mn飛ばしてるんですが、
同じ装置または、スパッタソース型のRFマグネトロンスパッタ装置で
ZnS:Mn飛ばしてる人いませんか？色々情報交換したいです。

…といってもこのスレあまり人がいなさそうですね(汗)

0151名も無きマテリアルさん

2006/12/13(水) 23:16:33

NiO/FeNiの薄膜ｽﾊﾟｯﾀしてたお

水流すの忘れて一回壊したことある。

0152名も無きマテリアルさん

2006/12/14(木) 21:51:24

おぉ！材料は違うけど装置は同じなんですね？！

参考程度に、スパッタ電力・距離・基板温度はどんなもんだったか
覚えてらっしゃいますか？自分は、電力は50W前後、距離は10cm前後、
基板温度は(ZnS:Mnなので)200～300℃で試行錯誤してるのですが、
どうも良い膜が作れなくて。

冷却水はそんなに大事なんですねw　気をつけます。

0153名も無きマテリアルさん

2006/12/18(月) 22:44:54

>141

膜厚が厚すぎるんじゃねーの！

0154名も無きマテリアルさん

2007/01/08(月) 23:20:43

age

0155名も無きマテリアルさん

2007/09/10(月) 19:35:10

スパッタ初心者が目を通したらいい論文とか書籍があれば教えてほしいです。
俺卒業できないかも・・・

0156名も無きマテリアルさん

2007/09/13(木) 01:15:34

論文ならJDreamにアクセスしたらいいんじゃない？
書籍は『薄膜技術の新潮流』とかそこいらが簡単でお勧め。

IBSの修理を続けて半年経つ。
ガイシとか研磨しても何の効果もなく
フィラメント電圧が6Vを切ったあたりで電極の過電流が治まらなくなる。
修理の業者はこねーし。卒論むりage

0157名も無きマテリアルさん

2007/09/13(木) 23:14:27

○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○
このレスをみたあなたは・・・３日から７日に
ラッキーなことが起きるでしょう。片思いの人と両思いになったり
成績や順位が上ったりetc...でもこのレスをコピペして別々のスレに
５個貼り付けてください。貼り付けなかったら今あなたが１番起きて
ほしくないことが起きてしまうでしょう。
コピペするかしないかはあなた次第...
○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○。・。○

0158名も無きマテリアルさん

2007/09/29(土) 14:53:57

アクリルに金スパッタできるか？

0159名も無きマテリアルさん

2007/10/29(月) 22:48:42

>>158
すぐはがれそうだな

0160名も無きマテリアルさん

2008/05/19(月) 13:21:40

hddffdfhdfh

cxxcxcbxbbc

tr
jrjtrtrjtrj

hsdhshsshd

vcnnvccvncvn

sdgdsggsddgs

0161スパッタマスター

2008/06/30(月) 11:53:50

ダイヤモンドライクカーボン通称DLCの研究をしております。
スパッタで生成しようと思うのですが、報告例が少ないです。

低温でCターゲット、Arガス、RF電源使用。他にどのような条件が必要であるのでしょうか。
また、中間層を入れないと評価できないのでしょうか。成膜後、基板からすぐに剥がれるため評価不可能なのですが・・・

0162名も無きマテリアルさん

2008/08/05(火) 02:56:12

>>161
＞低温でCターゲット、Arガス、RF電源使用。他にどのような条件が必要であるのでしょうか。
水素は入れられる？反応性スパッタやCVDでの成膜ではよく使う手なのだが
Ａｒのみだと低温で劇的に膜質を変えるのは困難。

＞成膜後、基板からすぐに剥がれるため評価不可能なのですが・・・
どんな基板を使ってる？洗浄方法は？スパッタ装置の構造は？
中間層うんぬんの前にまずこれらを明らかにしなければ何ともし難い。
あと、一般的に低温成膜だと応力が強くなるので
密着強度低い基板・膜だと剥がれやすい。

0163スパッタマスター

2008/08/20(水) 15:44:53

>>162
ご回答ありがとうございます。
Ａｒ＋H2混合ガスがやはりおもしろいのでしょうか。
基板加熱するとやはり密着力が増し、評価可能になりました。
しかし、硬度が低いです。
D－peak、G-peakの強度によって、硬度はやはり違うのでしょうか。
単純にD-peakが強いDLCじゃダメなのかな。

0164素人

2008/09/26(金) 12:00:38

スパッタでH２を導入した場合の懸念点を教えてください。
基板加熱なんかしたら、爆発します？

0165名も無きマテリアルさん

2008/11/09(日) 22:37:03

おまいらどこのスパッタつかってるの？

0166名も無きマテリアルさん

2008/12/16(火) 20:09:29

大阪真空

0167名も無きマテリアルさん

2009/02/18(水) 18:10:46

>>164
なんでやねん・・・
Arとか希ガスで割って使う場合は問題ない
大体 5～15％くらいにして使うよ

0168ドンキホーテ

2009/03/27(金) 18:17:25

CターゲットとMgターゲットでArスパッタした場合の危険性ってありますか？

0169名も無きマテリアルさん

2009/03/28(土) 11:30:02

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0170名も無きマテリアルさん

2009/04/13(月) 16:35:25

＞＞164

H2とか爆発しそうじゃないですか？
大気にしたときに・・・

0171名も無きマテリアルさん

2009/04/28(火) 00:28:49

>>170
アホか。おまいはH2でチャンバーをリークするのか？

0172名も無きマテリアルさん

2009/07/22(水) 18:22:09

ターゲットを貼り付けるのに、Inでくっつけるけど、
スパッタ中に熱くなってすぐにはがれて、ターゲットが落ちる。
どうすればよいだろう……

0173名も無きマテリアルさん

2009/07/23(木) 01:12:26

>>172
つ業者に頼む

0174名も無きマテリアルさん

2009/10/03(土) 15:18:15

http://live23.2ch.net/test/read.cgi/liventv/1254248291/1-100

0175名も無きマテリアルさん

2009/12/29(火) 21:36:24

Arガス+AlNターゲットでスパってるんだが、絶縁膜ができない。
膜中にAlが混ざってる気がする。
何か原因対策はないだろうか？

0176tokkyo

2009/12/29(火) 23:05:39

新発明や特許やアイディアなど知的財産を持ってる方々を募集~

弊社は新発明や特許やアイディアなど知的財産の譲渡、販売、取引などを努めさせておる会社でございます。
知的財産を持ってる方々のために、良い取引先を探すことは仕事内容でございます。
新発明や特許やアイディアなどを利益にしたい方々のご連絡を、心から持っております。
連絡先は以下通りでございます：[email protected]

0177名も無きマテリアルさん

2010/01/04(月) 01:14:14

RFマグネトロン反応性スパッタリングを用いて、Nbの酸化物薄膜を作っています。
基盤加熱600度で作っているのですが、大体何度位まで冷えるのをまてば、薄膜
は酸化せずにすむのでしょうか？教えてください。ちなみに温度を測っている場所
は、基盤ではなくチャンバーの中です。

0178名も無きマテリアルさん

2010/01/13(水) 23:19:31

＞＞１７５
使っているスパッタ法にもよるが、窒素がきちんとはいってないんだろ。

＞＞１７７
Ｎｂ酸化物薄膜を作っているのに、酸化せずにすむ？？
意味がわからん。
基板でなくて、チャンバー？　真空中だと熱伝導悪いんだけど、
こっちも意味わからん。

0179名も無きマテリアルさん

2010/01/14(木) 00:58:48

>>175
うちの近所ではN2ガスも混ぜてる

> 膜中にAlが混ざってる気がする。

分析してます？

0180名も無きマテリアルさん

2010/01/18(月) 14:32:50

ターゲットとマグネトロン磁石の間にある銅板って何のためにあるの??

0181名も無きマテリアルさん

2010/01/24(日) 01:08:25

>>180
いらないから外してもいいぞ

0182名も無きマテリアルさん

2010/01/24(日) 01:11:19

>>180
いらないから外してもいいぞ

0183名も無きマテリアルさん

2010/01/24(日) 14:54:12

>>178
>>179
やっぱN2いるのね。
分析したらNが足りてなさそう。

0184名も無きマテリアルさん

2010/02/12(金) 12:25:12

水のシールと、放熱を兼ねてる。
バッキングプレートのことだろ。

0185名も無きマテリアルさん

2010/04/10(土) 17:21:43

>>180

装置ばらして確認しる！
バッキングプレートの下に、磁石が入ってる。
すっげー汚いぞｗ

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