膜厚測定装置について
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0026某装置屋
NGNGPやRの光音響系の装置は薄い膜(<10nm)はNGみたい。エリプソは厚い膜がNG。
どちらも膜質の影響が大なのが難点。
XRRは絶対値が非破壊で出るけどスポットが大きいのと測定時間がかかるのが難点。
XRFはキャリブレーションが必要なのと測定時間とスポットサイズが難点。
上にあげたどれもこれも値段が高いのが難点。
じゃ、全部OKなのはどれかって?知ってる人いたら教えてね。僕が製品化して儲けるし。
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