>>23
そのくらいだと、専用の装置が必要ではないでしょうか？
R社の装置を使っている知人は、それくらいの膜厚は測定しているようです。
金額は、おおざっぱに５千万以上だとか、、、金額は自信ありません。
友人は使っているだけなので、、、