19の方へ
ご意見ありがとうございます。
段差計で測る手法はうちでも昔からやっているようです。
デポする前のウエハに対してポリイミドテープ（カプトンテープ）を十字に貼ってそれかデポして
テープを剥ぐ方法とか、測定箇所をエッチングしてやる方法ですよね？
どちらも手数が掛かるのでもっと簡便に使える測定ツールをと考えています。