膜厚測定装置について
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0001名も無きマテリアルさん
NGNGLaser系を使ったものに関していろいろ情報いただけませんか？
Web上で調べてみたのですがたいした内容は見つけられませんでした。
0002名も無きマテリアルさん
NGNG￣￣￣￣￣∨￣￣￣ (´´
∧∧ ） (´⌒(´
⊂（ﾟДﾟ⊂⌒｀つ≡≡≡(´⌒;;;≡≡≡
￣￣ (´⌒(´⌒;;
ｽﾞｻﾞｰｰｰｰｰｯ
0003かおりん祭り ◆IidAAeuI
NGNG0004名も無きマテリアルさん
NGNGATM、STMとかで測定できるような、
トンネル電流を一定にするんじゃなくて、トンネル電流を測定する。
SEMでこれをやる人はたくさんいると思います。
0005同業者？
NGNG金属膜ウエハの測定？
なら、2社あるよ。（特許の関係でこの2社しかだせないと思うよ。）
どっちも、億/1台します。
年間メンテナンス費は、どっちも年500万弱するよ。
0006名も無きマテリアルさん
NGNG単色エリプソのことか？
分光エリプソの方がいいぞ。
0007名も無きマテリアルさん
NGNG質問カキコした者です。
その2社はよく似たR社とP社のことですか？
機能、使い勝手とかもし詳しいこと知っていたら教えてもらえますか？
Laser系を使った金属膜の厚さを測定するツールは他にはないのでしょうか？
できれば、文献なども探したいです。
0008ヘツツ?チB
NGNGとりあえず、P社しか使ったことはありません。すくなくてもP社は、今、暇そう。あんまり売れてないです。
測定時間は、Map49ptsで２?３分（1pts；２?３秒）ですね。
任意の座標にXYって感じで測定点を設けられるモードもあります。
測定1ptsが50nm×30nmくらい（確か）で、４端針よりかなり小さいので詳細な測定には、イイですね。
Edgeそくていなんて感動モノです。パターンの金属膜も測定できます。
これは、非接触ならではと思います。段差計ぽく使えますね。
レシピを組むのがなれるまで、少し厄介ですね。
表面の金属膜からSiまでの膜構造とかを入力しなきゃいけません。
パターン認識のレシピは、かーてんの測定が使えれば問題ないです。
あと、表面が荒れていたり、うねっていたりすると測定にならない場合が多いです。
最近の膜なら大丈夫になってきたみたいですよ。
R社の日本代理店は、T社（電話）です。
> Laser系を使った金属膜の厚さを測定するツールは他にはないのでしょうか？
> できれば、文献なども探したいです。
ごめんなさい。金属膜で非接触測定で知っているのは、その2社です。
文献は、さがしてません。勉強不足で申し訳ありません。
特許が、確かレザーの波のちがいで測定するというので取ってるんですよ。
表現がよくないですけど、縦波、横波の違いみたいなものですね。
なんでR社、P社しか売れないと思いますよ。
0009すみません
NGNG・１ウエハ４９ｐｔｓ２、３分
・１ｐｔｓ２、３秒
です。
0010厚さ
NGNG測長SEMで傾けてみる。正確な数字は出てこないが推測はできる。
これなら、割らずにすむ。
0011厚さ２
NGNG0012名も無きマテリアルさん
NGNG確かH（もも？）社が代理店してるね。
詳しいことはわからんが、熱伝導率を計算するらしい？
0013407
NGNG0014たぶん
NGNG可視光つかった屈折率系だったら、
膜種の違いをみるのがやっとなのでは？
膜厚までは厳しいと思いますよ。
0015しつもん
NGNG直前まで、どこのスレにいたんですか？
407って？
0016名も無きマテリアルさん
NGNG白色光をサンプルに当ててその反射光をスペクトルから膜厚を計算するやつがあるね。
計算にはサンプルに構成されるそれぞれの膜の屈折率が必要になるよ。
0017名も無きマテリアルさん
NGNGあとＸ線反射率とかの方法がある。
１は非破壊でしたいってことか？
0018名も無きマテリアルさん
NGNG非破壊、非接触で測定できるものに関して探しています。
さらに数十umの領域(スポット）で測定できるものです。
X線反射率で測定する際は、（有効）測定領域はどれくらいになるのでしょうか？
0019名も無きマテリアルさん
NGNGすることになります。だからミクロンサイズには向かないね。
膜厚分布みたいのなら、膜を堆積する時、堆積しない領域を作って
デクタクとかで計るのが手っ取り早いし正確だよ。
0020名も無きマテリアルさん
NGNGご意見ありがとうございます。
段差計で測る手法はうちでも昔からやっているようです。
デポする前のウエハに対してポリイミドテープ（カプトンテープ）を十字に貼ってそれかデポして
テープを剥ぐ方法とか、測定箇所をエッチングしてやる方法ですよね？
どちらも手数が掛かるのでもっと簡便に使える測定ツールをと考えています。
0021名も無きマテリアルさん
NGNG0022たしか
NGNG１さんは、厚めの金属膜測定を希望していると思いますので無理だと思いますよ。
フッティングが合うとは思えません。
酸化膜系なら問題なく測定できますが。
また、１さんは、将来かなり3元系以上の金属膜にも手を出さなければならない人だとおもいます。その辺も知りたいんじゃ無いんですかね。
>>20
それならやっぱり、R社かP社だと思いますよ。
50nm×30nmとか書いちゃいましたけど、間違いです。数十umの領域(スポット）um単位です。ちなみに、CRに置くんですか？３００対応必須ですか？
0023名も無きマテリアルさん
NGNG数十ナノ〜数百ナノ程度の膜厚測るには
やっぱり専門の装置が必要でしょうか。
お値段いくらくらいなのかなぁ・・・。
AFMでも測れんことはないんですが、
非常に面倒なんで・・・。
0024名も無きマテリアルさん
NGNGそのくらいだと、専用の装置が必要ではないでしょうか？
R社の装置を使っている知人は、それくらいの膜厚は測定しているようです。
金額は、おおざっぱに５千万以上だとか、、、金額は自信ありません。
友人は使っているだけなので、、、
0026某装置屋
NGNGPやRの光音響系の装置は薄い膜（<10nm）はNGみたい。エリプソは厚い膜がNG。
どちらも膜質の影響が大なのが難点。
XRRは絶対値が非破壊で出るけどスポットが大きいのと測定時間がかかるのが難点。
XRFはキャリブレーションが必要なのと測定時間とスポットサイズが難点。
上にあげたどれもこれも値段が高いのが難点。
じゃ、全部OKなのはどれかって？知ってる人いたら教えてね。僕が製品化して儲けるし。
0027名無し人
NGNG知っていたら教えてください。
日本撤退って話じゃなくって？
世界規模での撤退なのですか？
002826
NGNGはっきり撤退と宣言するかどうかは別にして、開発は事実上止めているらしいとおもわれ
002927
NGNG海外の開発部門が止めてるってことですよね？
去年の下半期に装置のバージョンが上がったばっかりだから
開発が止まったように見えているだけじゃないんですか？
003026
NGNG0031名無し人
NGNG何者ですか？
0032age
NGNG0033age
NGNG003426
NGNG思うけどね、手出さないがいいよ。Cu用バリア膜が数nmになろうという今、10nm以下は計れませんなんていう
装置にはボリュームマーケットは存在しないからね。
0035名も無きマテリアルさん
NGNG１０μｍまではＯＫらしいが．．．
003626
NGNG十分注意しながら測定しないといけないとおもわれ
１０μｍ云々は透明膜のはなしだろ
0037装置屋太郎 ◆187RZS9w
NGNGおいレーザー屋、このままじゃバリアが計れねえぞ。なんとかできるの？あと1年しかねえぞ。
0038装置屋太郎 ◆187RZS9w
NGNG照る照る坊主も商売続けたきゃ、なんとかさせろよな。
0039でもね
NGNGなるほど、バリア膜が測定できないわけですか？
でも、CuならOKなわけでしょ？
004026
NGNGあのね、何か測定できればいいってもんじゃないでしょ。Cuだけの為にあれだけの値段をだすとすればそれはおばかさん。
導入メリット >> 装置価格＋COO, 装置価格 >> 製造コスト, 装置価格＋COO < 競合製品
が満足されないと意味が無いのが商業製品ってもんよ。この２〜３年惨憺たる成績だったのをP.A.が覆い隠していても
「さる事情」により各事業ごとの採算性を厳しく査定する必要を生じたものとおもわれ。
まあ、負け馬に乗った人は泣き寝入りするんだなｗ
004126
NGNGまあ、私の意見が全く間違いだと思うなら、あんたあの事業買ったら？
0042３９
NGNG004326
NGNG90nmまでしかつかえない。でも、裏でがんばっているものとおもわれ。
0044３９
NGNGありがとうございます。
0045名も無きマテリアルさん
NGNG0046名も無きマテリアルさん
NGNG0047名も無きマテリアルさん
NGNG表面プラズモン共鳴装置
0048名も無きマテリアルさん
NGNG0049装置屋太郎 ◆187RZS9w
NGNGhttp://www.eeel.nist.gov/812/conference/links.html
0050装置屋太郎 ◆187RZS9w
NGNGhttp://www.eeel.nist.gov/812/conference/
0051名も無きマテリアルさん
NGNG0052名も無きマテリアルさん
NGNG0053３９
NGNG２ちゃんねるからの提案です・・・・・
World Cup Final Ceremony
http://jbbs.shitaraba.com/sports/319/
＞＞有志による作戦本部ＢＢＳ
http://sports2.2ch.net/test/read.cgi/wc/1025209054/
＞＞横浜でホスト国の本来の姿を見せようじゃないか４
http://www.geocities.com/sanmakami/index.html
＞＞テンプレ（企画内容）
２ｃｈ発ワールドカップ最後の祭りをしよう！
0054かつお
NGNGいままでで一番ネタとして使えた。一番良心的なとこです。だからみんなにおすそわけ、これで夜は困らないよママン！
∩＿∩
（ ´∀｀）
（ ）
｜ ｜ |
（∩_）＿）
| | ∩| ／￣￣￣￣￣￣￣￣￣￣
| |ﾟДﾟ) ＜ これでネタに困らないよ！ありがとうママン！
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Ｕ Ｕ
005526
NGNGPhilips Analyticalは半導体部門撤退の第2弾としてエリプソから撤退しました。
http://www.siliconstrategies.com/story/OEG20020707S0018
005626
NGNGレーザータイプもまっかっかだから正式発表のタイミングを計っていると思うよ。
足かせを全部取っ払わないと「でかい話」のほうが決着しないからね。
0057名も無きマテリアルさん
NGNGlow-k膜でお困りなら、相談に乗りますが、たぶん、いい加減なその辺の営業やマーケティング、外向けの対応してる人よりは解をもってるはず。
0058名も無きマテリアルさん
NGNG0059名も無きマテリアルさん
NGNG0060名も無きマテリアルさん
NGNG006126
NGNGだから、56で言ってるじゃない。「でかい話」が近々（数ヶ月以内）発表されると思うよ。
業界関係者ならみんな知っているので知らないって事は貴方は利害関係ないんだろ。
なら、発表まで待てｗ
0062名も無きマテリアルさん
NGNG0063名も無きマテリアルさん
NGNG日本のセミコンダクターがもっと明確に目標設定しなきゃ、世界で生き残れないよ。
Low-k膜にどんな物性値を求める？
明確に根拠を持って提示できる？
006426
NGNGP.A.リストラ続編
Accent Optical Technologies to Acquire Philips Analytical’s Waterloo, Canada Operations
http://www.accentopto.com/main.asp?page=/home.asp
006526
NGNGついに、「でかい話」は発表になりました。
http://www.newscenter.philips.com/InformationCenter/NewsCenter/FPressRelease.asp?lArticleId=2417&lNodeId=13
P.A.はそのビジネスの大半がX線なのでそれを売ってしまったとなると残りの
レーザー膜厚計（しかも大赤字）単独で事業を継続することはありえないと思います。
良くて他者へ売却ですが、あれだけ赤字のものをだれか引き受けるかしらん？
0066名も無きマテリアルさん
NGNG006826
NGNGエリプソメーター Philips自体が撤退を決定
Ｘ線分析装置 PhilipsがSpectrisに売却、直後にSpectrisはそのうちの
Waterlooブランドの部門をAccentに転売
レーザー膜厚計 今回の売却に含まれず、旧Philips Analyticalの
なかで唯一Philips Electronicsの傘下に残っている。
分析部門の経営を断念したP.A.がこの部門を単独で存続することは
ありえず、買収してくれるところを探しているとのうわさ。
適当な売却先が現れなければ（ここまで現れなかったのだが）、撤退か？
ですから、レーザー膜厚計をどうしても存続させたいあなたは、今すぐアルメロへどうぞ。
0069407
NGNGものすごく羽振りのヨイ所だったはずなのに何故でしょう?
回折は日本以外の世界中で敵なしでしょ。
0070名も無きマテリアルさん
NGNG赤を埋めようとした。
PA自体はもともと健全経営なのでかえって高い上納金をPに払う
必要がなくなった分、今まで以上に伸びる可能性が大きい。
0071名も無きマテリアルさん
NGNG0072名も無きマテリアルさん
NGNGコロニーは所詮コロニー。PもSpectrisもどこも役員クラスはベンツ２台
に豪邸と......。
0073名も無きマテリアルさん
NGNG0074山Ｊ
NGNG0075lemon
NGNG0076見人
NGNG原理と構造が詳しくのったHPや資料を知りませんか？お金がないので自作したい
のですが・・・
0077名も無きマテリアルさん
NGNG着メロ？
さぶ。。。
0078Pulse
NGNG0079見人
NGNGガラスに銀を蒸着したり、有機材料を蒸着する時に、厚さを知りたいんです。
厚さをモニタリングしながら、蒸着する材質を変えていきたいので。
0080見人
NGNG真空蒸着装置でのことです。
0081山K
NGNG008226
NGNG未練たらしいやつ。誰か買ってやったら、KLA TencorやRudolphに勝てるなら。
008426
NGNG0085山崎渉
NGNG0086名も無きマテリアルさん
NGNG基板温度がかなり高温になるためポリイミドテープでは難しいかもしれません。
熱CVDのような高温中で基板に生膜するときはどのような方法でマスクをして
いるんでしょうか？
0087名も無きマテリアルさん
NGNGそのくらい、自分の頭で考えたら？
おつむは防止の大蛇ないのよ
0088山崎渉
NGNG008926
NGNGでも、親だったPhilips Analyticalの傘下自体が売り飛ばされてPanalyticalになったので
その営業網、サービス網はもはや使えず、自前で商社を募集中らしい。
それにしても、をいをい、日本Ｐには扱ってもらえないのかよ。兄弟会社だろ。
日生エレってﾊﾟﾅﾘﾃｨｶﾙのライバルのホリバやリガクのお仲間の目立高ﾃｸの子会社だね。あてつけかい？
このへんの事情は前のwebサイトの著作権すらままならないのか「工事中」な
Philips AMS のWebサイトをごろうじろ
009026
NGNGhttp://www.philips-ams.com/
009126
NGNG今や勝負は ＜１０ｎｍ なのにＩＳＴＳに勝機があるとはとても思えん．．．
009226
NGNG現時点では>>26で予告した「Ｐ．Ａ．売却と共にＩＳＴＳは終了」は外れってことで
陳謝しときます。
実質は終わっているのだが．．．．．
009326
NGNG売り上げが急速にダウンし、市場から調達した資金も既にそこをつき、
経営報告をリリースするたび株価は急降下、今ではいっときの1/20と紙くず同然
http://ww6.investorrelations.co.uk/bede/SharePrice.shtml
さあ、どうする照る照る坊主！ これを機にBを買収してＸ線に進出か？？？
0094山崎渉
NGNG0095山崎渉
NGNG（ ＾＾ ）＜ ぬるぽ（＾＾）
009626
NGNG結局売れ残って大Pの手元にあるISTS事業ですが、
ご奇特な既存ﾕｰｻﾞがいくばくかあるので、
メンテとそれから万一の追加発注を期待して事業を続けていると...
もちろん、有力なメンバーは他所へ行ってしまったと...
でも、顧客の手前、開発はやっていることにしないといけないと...
みんな風の噂ですが。
009726
NGNGつまり十何円ってこと。
0098名も無きマテリアルさん
NGNGナノインデンターでの破壊試験てのはダメ？
0099bloom
NGNG0100名も無きマテリアルさん
NGNGクレジットカードで買い物をすると、商品代金の８０〜９０％のキャッシュバック！！
１０万円の買い物をすれば８〜９万円の現金がお手元に！！
■■朝日カード■■
http://www2.pekori.to/~ryu/asahi/
0101
NGNG0102山崎渉
NGNG0103山崎渉
NGNGﾋﾟｭ.ｰ ( ＾＾ ） ＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
＝〔~∪￣￣〕
＝ ◎――◎ 山崎渉
0104Nanashi_et_al.
NGNG0105名も無きマテリアルさん
NGNG0106名も無きマテリアルさん
NGNG0107愛子
NGNG0108裏狩人 ◆hpkblLndVA
NGNG0109裏 ◆cOAg7C2WZs
NGNG0110裏 ◆EhVCAQxgbE
NGNG0111裏人 ◆EhVCAQxgbE
NGNG0112裏 ◆vVeAQHezng
NGNG0113裏 ◆mloC/fJlNc
NGNG0114裏 ◆4zjBNgl.fM
NGNG0115裏狩人 ◆4zjBNgl.fM
NGNG0116裏狩人 ◇4zjBNgl.fM
NGNG0117横溝正史は謎の人 ◆e3C3OJA4Lw
NGNG0118名も無きマテリアルさん
NGNG0119名も無きマテリアルさん
NGNG, - ' ﾞ ｀` ‐ 、_,,,,,
,r' ／＝ミ
/ 彡ll',''´
. / 彡lll
!-- .､ ,､､､､,,, 彡lﾉ
l,,,,,__ / ___ 'r''ﾞヽ
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【ゴールデンレス】
このレスを見た人はコピペでもいいので
10分以内に3つのスレへ貼り付けてください。
そうすれば１４日後好きな人から告白されるわ宝くじは当たるわ
出世しまくるわ体の悪い所全部治るわでえらい事です
俺も貼ります
0120
NGNG「全てのアプリケーションで最高性能の高価な装置（メタパル巣のこと？）が必要なわけではない」という趣旨の発言
そんなこというようになっちゃおしめーだな
0121名も無きマテリアルさん
NGNGどこがちがうんかね？Ｘ線使うってとこはいっしょらしいけど。
0122
NGNG0123名も無きマテリアルさん
NGNG0.01μｍの精度が欲しい。
0124名も無きマテリアルさん
NGNG製膜前にマスクなどをかけて段差をつけることが可能なら、
多重反射干渉法が簡単かなあ。きれいな鏡面になってれば、
10nm の精度は多分出せる。
あとは透明なプラスチックだったら反射スペクトルから干渉
効果を見て推定するとか、誘電率がわかってれば電極付けて
キャパシタンス測ってみるとか。
いずれにしても、それほど簡単ではないでしょうね。あと
形状膜厚が欲しいか質量膜厚が欲しいか物性膜厚が欲しいか
などによって方法も変わってきます。
参考書としては吉田『薄膜』培風館などをオススメ。
0125名も無きマテリアルさん
2005/09/15(木) 20:01:100126& ◆xWh2ZLVRdc
2005/09/16(金) 11:57:49要は、段差計ね
ＡＦＭのカンチレバーでも無理？
0127名も無きマテリアルさん
2005/09/17(土) 16:02:19FIBで断面出して、SIM or SEM
レジストで金属箔を一部覆ってエッチング後、段差計 or AFM
って、よく見たら去年のレスかいな (´д｀;
0128名も無きマテリアルさん
2005/09/19(月) 04:22:07垂直反射率のスペクトルからＮＫってどーやって割り出されるんですか？
おしえてスケベなひと(´д｀
0129名も無きマテリアルさん
2005/10/08(土) 02:13:34蒸着レートが一定になりません。積算はされているような
のですが・・・。
故障でしょうか、または設定が悪いのでしょうか？
0130名も無きマテリアルさん
2005/10/08(土) 17:09:08ひとまずクリスタルを換えてみたら．
0131名も無きマテリアルさん
2005/10/10(月) 09:01:00クリスタルを変えても駄目でした。
蒸着レートが0Å/sになったり1.0Å/s
になったりばらばらになります。
0132名も無きマテリアルさん
2006/10/17(火) 16:34:37どうやって厚みを測定したのでしょうか？
0133名無しさん＠お腹いっぱい。
2006/12/02(土) 12:43:53http://wiki.ninki.org/wiki.cgi?p=%cb%ec%b8%fc%c2%ac%c4%ea%c1%f5%c3%d6%a4%cb%a4%c4%a4%a4%a4%c6
0134名も無きマテリアルさん
2008/12/06(土) 20:31:08まあそうなるわな
0135名も無きマテリアルさん
2009/07/10(金) 11:23:02測定するものは、10μm位のフィルム。
管電圧を8KV位にして、とりあえず蛍光X線メッキ膜厚計用の比例計数管で
減衰する強度を膜厚換算してみた。
1秒測定を10回実施した結果が平均値9.98μm、標準偏差0.20μm
同条件で標準偏差を0.05μm位にしたいのだけど、この場合検出系には何を
使用するのがベスト？
比例計数管？ 電離箱？ GM管？ シンチレータ？ その他？
教えて下さい。
0136名も無きマテリアルさん
2009/07/25(土) 22:59:09http://namidame.2ch.net/test/read.cgi/hidari/1225537555/
0137名も無きマテリアルさん
2010/03/17(水) 01:19:190138名も無きマテリアルさん
2010/04/28(水) 17:13:59■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています