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新規強誘電体材料の提案(はぁと
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0035
名も無きマテリアルさん
NG
NG
>>34
実用拡大っていってもの目指してた分野がフラッシュに取られたし・・・
最近、素子協が提案した常誘電体を結晶核にして成長させた薄膜なんかは
材料探索の賜物だしね(もちろんプロセス的にも新しい技術だが)
15nm程度の膜厚で強誘電性が得られるというのは今後の強誘電体薄膜プロセス
にとってものすごく意味のあることだとは思う
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