テルビウムについて教えてください
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0005名も無きマテリアルさん
NGNG何度か知らないけど)で焼結すれ。粉体にも依るが
1700-1800℃くらい要るかもね。(自分で調べれ)
温度、酸素分圧で酸化数が変動するはずだから、
焼成温度、雰囲気および仮にターゲット材に使える
ようなものができても、実際のスパッタ時の温度、
酸素分圧もコントロールが必要かもね。
ところで磁気応用の金属Tbターゲットでなく、酸化Tb
ターゲットとは珍しいね。high-K材?(スパッタは
使わないか?)あるいは酸化鉄辺りと一緒にFe-Tb-O膜?
差し支えない範囲で教えてよ。
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