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annealするとどうなんの？

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0001名も無きマテリアルさんNGNG
基板に蒸着した金属薄膜をアニールすると、
どんな変化がありますか？理論的に知りたいです。
どんな本調べたらよいのでしょうか？
誰か御教授ください。
0002名も無きマテリアルさんNGNG
半導体では表面再構成と言って、温度や蒸気圧などによって最上部原子の配列が変化します。あんまり関係なくて済まん。
0003１NGNG
>>2
いえいえ、ありがとうございます。
0004名も無きマテリアルさんNGNG
Thompson CVで検索すべし
0005ばいめたるんNGNG
アモルファスな薄膜だと、結晶になったりするね。
多層膜だと拡散が起こるね。起こる起こらないは条件があるけど。
拡散については金属に関係した本を読めばいいと思う。
0006らららNGNG
基本的には　ばいめたるさん　が言っているようにアモルファスならそれが
クラスター化してそれが規則度を増して結晶化していくねえ。その後、
焼鈍しつづけると、粒径が大きくなっていくねえ。その際の粒成長の駆動力は
主に３っつある。
１ひずみエネルギーによるもの。
２粒界エネルギーによるもの。
３表面エネルギーの異方性によるもの。
まあ、ドライビングフォースとして大きい順に書いたけど。薄膜だったら、
３も無視できないだろうよ。
異状粒成長の論文なんかがヒントになるかもよ
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