>>12
ウチの会社では、高周波熱プラズマを使ってます。
圧力はチョイ減圧気味のほぼ大気圧。
雰囲気は Ar + H2 かな。
モノによっては Ar + N2 とか。

ガス流量が数十L/min.になるので、ロータリやメカブでも
排気が追いつかないから、ダイヤフラムポンプを並列に
６〜８台つないで使用。

チャンバとポンプの間にはフィルタユニットをかまして、
超微粒子が排気されないようにしてます。