>>7
何処までが大々的なのかは分からんが、スパッタは製品化されてるでしょ。
高レートの方法も実用化されてるしね。
設備投資が高くなるのでリスクがあるので、大量に消費されるもの限定に
なる傾向にはあると思う。
ゾルゲルは不良率が高くなるのが問題かなぁ。管理が微妙でめんどくさいし。