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薄膜プロセス
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0075
大損
NG
NG
>>74
ピンホールはSEMでも見えるのですが、評価はとしては、実際に
電圧をかけて行っています。今のところ3ミクロンで50V程度まで
行きました。
それ以上かけると、膜が火を噴いてしまいます。
どうなんでしょうか?
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