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薄膜プロセス
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0069
大損
NG
NG
>>68
O2だと絶縁性の高い膜が作れないんです。。
で、特許を探していたら、オゾンを一割ほど混ぜるようなことが書いて
あったんですが。。
オゾナイザーをつけるしかないのかなぁ。
ところで、QマスでO2とO3の比率って調べられるんでしょうか?
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