>>68

O2だと絶縁性の高い膜が作れないんです。。

で、特許を探していたら、オゾンを一割ほど混ぜるようなことが書いて
あったんですが。。

オゾナイザーをつけるしかないのかなぁ。

ところで、QマスでO2とO3の比率って調べられるんでしょうか?