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薄膜プロセス
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0041
29です。
NG
NG
>>40
ということは様々な策が出てきてはいるが,現状では
やはり少々問題がある。あと数年?でなんとかはなりそ
うであるが。というふうにとってかまわないのですか?
あと,蒸着という言葉はCVDの場合当てはまらないのですか?
プラズマCVDの話を聞いてても,蒸着という言葉を使っている
人もいたのですが。
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