>>17
そいつはすまなかった。
建設的な意見か・・・。

建設的かどうかわからんが、一つ。
半導体薄膜では2大手法になってるMOCVDとMBEだが、
実際のデバイス作製となると、Siでは専らMOCVD。

化合物でも、MOCVDがどちらかというと多いが、
MBEで量産してるところもある。
一般に量産性に劣ると言われるMBEだが、
MBEで量産してる企業等では、
どんな工夫をしているか、聞いてみたいかな。
詳細は無理だろうけど、

プロセスが決まった後の量産と言う面では
RHEEDにようなその場観察もあまり利点として
効いてこないだろうし。