167です。いろいろアドバイスをありがとうです。

薄膜で、装置の試運転って感じで、シリコン基板に純鉄を
ＰＬＤ（パルスレーザー）法で付けてみました。

洗浄って人によって違うんですよね。
ＭＯＣＶＤやってる人は、クリーンルーム内だからでしょうか、
へたに洗浄するのは良くないと言って、そのままチャンバーへ
入れる人もいれば、
有機溶媒を使う人もいれば、窒素ガンを使う人もいれば、
フッ酸という恐ろしい物を使う人もいれば…。

なかなか難しいものです。