基板洗浄って、どうしてます？

私んとこは、シリコン基板では中性洗剤でよーく洗い、
２〜３回蒸留水で超音波洗浄、２〜３回有機溶媒で超音波洗浄、
で最後に有機溶媒で煮沸させて、一気に基板を取り出すことに
より表面の膜（酸化膜ではない、単なる汚れ）をとり、
すぐにチャンバーのＮ２パージしたルームに入れて、
セットするんですが。

シリコンでは、どんな洗浄方法があるんでしょうか？
ちなみに、私んとこは、クリーンルームではやってないんです。
完璧な洗浄方法は、やはり酸を使うことなのでしょうか？