>>9
高レートの方法なら、
1．ターゲット面積を広くする
2．マグネトロンスパッタ
3．大電力投入（RF+DCの重畳）
なんかがあるが、コストがかかりすぎるのが難点。
酸化物をやるんだったら、ECRがいいぞ。
ECRはスパッタにもCVDにも応用できるし。