薄膜プロセス
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0001THIN
NGNG気相法、液相法が大きな分類としてそれぞれに数多くのプロセス
があると思います。これらのプロセスの比較、薄膜の評価法、物
性等いろいろ語り合いましょう。
とりあえず取っ掛かりとして代表的な圧電材料であるPZTの薄膜
作製プロセスについてそれぞれのプロセスの有利な点不利な点を
あげてみてください。
0002名も無きマテリアルさん
NGNG0003名も無きマテリアルさん
NGNGCVDが一番よいのでは？
研究段階ではスパッタもありで
うちで使っているPLDは最悪
リークが駄々漏れで製膜レートも製膜できる範囲もちいさすぎ
0004名も無きマテリアルさん
NGNG0005名も無きマテリアルさん
NGNGスパッタの方がいいぞ。
CVDは薬品の扱いがめんどくさい。
スパッタでも、装置や材料によるが、レートの高い物だってできる。
真空の方がコンタミも少なくできるし。
0006名も無きマテリアルさん
NGNG0007名も無きマテリアルさん
NGNGんじゃぁなぜ，大々的に製品化していないのか?
確かにスパッタはよろしいと思うが。
スパッタにしてもゾル-ゲルにしても，強誘電体
薄膜の分野で注目を集めている(いた?)のに，なぜ
企業は積極的に採用しないのか?
そこらあたり聞きたいなぁ。
0008名も無きマテリアルさん
NGNG何処までが大々的なのかは分からんが、スパッタは製品化されてるでしょ。
高レートの方法も実用化されてるしね。
設備投資が高くなるのでリスクがあるので、大量に消費されるもの限定に
なる傾向にはあると思う。
ゾルゲルは不良率が高くなるのが問題かなぁ。管理が微妙でめんどくさいし。
00097
NGNGなるほど。
1つ2つ質問。
>高レートの方法～
こちらの不勉強なのだが，実際どのような方法?
強誘電体であるPZTの作製についてだよね?
参考程度でよいので，ぜひ教えていただきい。
0010SCED
NGNGスパッタとゾルゲル（ＭＯＤ）ではないでしょうか？
確かに多元系酸化物の成膜方法としてはＣＶＤが理想だとは思い
ますが、まだまだ未成熟。それゆえ、注目を集めているのにまだ
採用されていないという現実があるのだと思います。
平坦化プロセスの適用では追い付かない高誘電率膜キャパシタ
においては、側面にも成膜する必要があるためにＣＶＤが先に
採用されるのかもしれませんが（ＬＳＭＯＣＶＤかも。。。）
0011おthinこ
NGNG0012>>11
NGNG図書館か論文あさりなさい。
0013名も無きマテリアルさん
NGNG高レートの方法なら、
1．ターゲット面積を広くする
2．マグネトロンスパッタ
3．大電力投入（RF+DCの重畳）
なんかがあるが、コストがかかりすぎるのが難点。
酸化物をやるんだったら、ECRがいいぞ。
ECRはスパッタにもCVDにも応用できるし。
00149
NGNGレス遅れました。
ありがとうございます。勉強なります。
でもやっぱりコスト面で問題が出てくるのですね。
コストいえば，ゾル-ゲルならばMITSUBISHI MATERIALの
http://www.mmc.co.jp/japanese/corporate/news/news20000124.html
があります。
・・・・なんだかこのまま下がっていきそうな予感。
0015名も無きマテリアルさん
NGNG0016名も無きマテリアルさん
NGNG0017名も無きマテリアルさん
NGNG知識があるなら書いてくれ。
知ったかならsageてくれ。
建設的な意見を出して欲しい。
001816
NGNGそいつはすまなかった。
建設的な意見か・・・。
建設的かどうかわからんが、一つ。
半導体薄膜では2大手法になってるMOCVDとMBEだが、
実際のデバイス作製となると、Siでは専らMOCVD。
化合物でも、MOCVDがどちらかというと多いが、
MBEで量産してるところもある。
一般に量産性に劣ると言われるMBEだが、
MBEで量産してる企業等では、
どんな工夫をしているか、聞いてみたいかな。
詳細は無理だろうけど、
プロセスが決まった後の量産と言う面では
RHEEDにようなその場観察もあまり利点として
効いてこないだろうし。
0019名も無きマテリアルさん
NGNGロームがつくってる。
http://www.rohm.co.jp/news/densoken-j.html
詳しく聞きたがったが，案内のねーちゃんが技術でなかったよ。
0020名も無きマテリアルさん
NGNG量産じゃねぇだろ。
シャープ辺りに聞いてみれ。
002219
NGNGhttp://www.rohm.co.jp/news/dvd-j.html
ロームに固執するわけではないが。。
0023名も無きマテリアルさん
NGNGMBEしかできないもんって意外とあるのよ．
ロームは初めてMBEを生産に使ったというのが偉い．
ローム，シャープ以外にもやってるところあるよ．
例えばハイパワーレーザー（980nmのほうね）とかは酸素混入を下げられるMBEのほうが
MOCVDよりも性能が高くなる．普通はMOCVDのほうがはるかに楽だけど．
0024LUMI
NGNGこの利点を利用して、台湾系投資家がこぞってＭＢＥを買って受託生産しているよ。
日本の空洞化はなんとかしなければ・・・。
0025CPCD
NGNGある程度までに制限される気がするので、
重工業には向いていないと思う。
だから今の日本ではあまり普及しない感じ。
イメージのみの意見ですみません。
0026名も無きマテリアルさん
NGNG文章見ればイメージのみの意見というのが良くわかります。
誰も気にしてませんから、お気になさらずに。
0027名も無きマテリアルさん
NGNGﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ ﾊｧﾊｧ
0028名も無きマテリアルさん
NGNG”イメージのみ”に突っ込んでるみたいだが，
あんたみたいに何も書いてないよりはマシ。
>>27
再来年こい。
んでCVDに詳しくないんですが，今でも大面積に
蒸着しようと思ったら，カナリなお金かかるんですか？
0029名も無きマテリアルさん
NGNGCVDは蒸着と違うと思われ・・
0030名も無きマテリアルさん
NGNG逝って良しですか by 25
0031名も無きマテリアルさん
NGNG逝ってよし。
蒸着＝物理的コーティング
CVD＝化学的コーティング
0032名も無きマテリアルさん
NGNGあっ、ゴメソ、俺26(=30)だった。
25, 28(=25?) が逝ってよしという事で宜しいか
003328
NGNGCVDは化学蒸着と漏れは習ったｿﾞ。
単にコーティングと書いたほうがよかったのか？
http://www.google.co.jp/search?q=cache:vggfKhHib4UC:www-iter.tokyo.jaeri.go.jp/ITER6_12.htm+CVD%81%40%97p%8C%EA%89%F0%90%E0&hl=ja
003428
NGNG今間近で実験してんでしょ？>>29-32
よければ質問に答えてよ。
専門が違うとほとんどわからないんだよ。
学会では聞くけど，いまいち・・・ね。
(煽りたいんじゃないよ。答えてくれそうだからね。）
0035名も無きマテリアルさん
NGNGそもそも口の聞き方が判ってない厨房みたいだが
答えてやるとするか。「かかるYO!」
0036CPCD
NGNG試験片作成を外注に出したところ、
プラズマCVDの直径50cmの釜での作成で
1バッチ100万円でした。
しかもこれは教授の紹介で頼んだもので
製作会社の儲けは無しだそうです。
今回はイメージではありません。
003729
NGNGそうですね。確かに口調がﾏｽﾞｲですね。改めます。
特に>>26さん申し訳ないです。もし見ていたらレス
頂きたいです。
それでは質問を書き直します。
実際にCVDでは基板が制限されたり，そうでなくとも
大面積にデポジット(問題ないですよね?)する場合は
コスト面で問題が出そうなのですが，現在でもそう
なのでしょうか?
ただ以前からの問題なので，今現在は研究も進んで
おり，改善策が出てきているのでは?
と，聞きたかったのです。
こう書いてみると全然違いますね。申し訳なかったです。
もしよければ，ご教授お願いします。
003829
NGNG0039ゾルとゲル
NGNGって方法があるかと思いますが、ゾルゲル法は熱処理が必
要なため他のコンポーネントに影響を与える可能性があり
ますってかんじかな？
0040名も無きマテリアルさん
NGNG大気圧下での方法など改良が進んでいるし、その
うち半導体だけじゃなくて大型ディスプレイの製作
プロセスにも適用されていく模様。しばし待て。
004129です。
NGNGということは様々な策が出てきてはいるが，現状では
やはり少々問題がある。あと数年?でなんとかはなりそ
うであるが。というふうにとってかまわないのですか?
あと，蒸着という言葉はCVDの場合当てはまらないのですか?
プラズマCVDの話を聞いてても，蒸着という言葉を使っている
人もいたのですが。
0042名も無きマテリアルさん
NGNG1000mm角レベルの基板を使ってのTFT作製プロセスは
実験段階でならあるみたいだね。
004342
NGNG＞とりあえず取っ掛かりとして代表的な圧電材料であるPZTの薄膜
＞作製プロセスについてそれぞれのプロセスの有利な点不利な点を
＞あげてみてください。
見てなかったなあ。ははは。
TFTはPZTとは関係ないかな。
0044CPCD
NGNGプラズマでも熱でもエネルギー形態に関係なく
化学気層蒸着の原理によるものはCVDです。
あと何年でメジャー（？）になるかは
不明ですが、
現在研究者が少なすぎるようです。
何か、インパクトのあるトピックスが無いと
難しいでしょう。
ところで、3年位前にTi薄膜で
光触媒を利用した
ホンダ-フジシマ効果の講習会に行きました。
最近新聞にも掲載され、一般的に認識されるように
なった様ですが、
これにはCDVは関係あるんでしょうか。
研究されている方がいらっしゃいましたら
是非お教え下さい。
0045そじん
NGNG0046名も無きマテリアルさん
NGNGコストに関しては、CVDって言ったって半導体デバイス
に使うような薄くて精密にコントロールされたものから、
大型素材への単なる(厚膜)コーティングまでいろいろあ
るからさ、一概には言えないよ。基本的には温度上げた
チャンバーに原料ガス入れて化学反応させるだけだ。人件
費、原材料費、設備償却費なんかは研究とは別の次元だし、
何をどれだけ造るかによってコストなんか桁が変わる。
誰かも言っていたけど、「蒸着」とは物理蒸着(PVD)を意味
するようになっているから紛らわしいんだよ。「製膜」って
良く使うけどな。
>>44
CDVには関係無い、CVDにも関係無い。
光触媒の根本原理の理論を本多-藤嶋効果という。
30年前の話し。（・・・って講習会逝ったんだろうが）
0047名も無きマテリアルさん
NGNG結晶の薄膜もあれば、非晶質の薄膜もある。
（出来ると思うが準結晶の薄膜はあまり聞いたことが無い）
004829
NGNGなるほど。蒸着って書いても問題なしのようですね。
研究者によって深いこだわりがあってと思い，しつこく聞いてみました。
??なんで違うっていう書き込みがあったんだろう??
CVDで光触媒用途のTiO2薄膜(ですよね?)･･･これも興味深いです。
>45
アモルファス，多結晶，単結晶色々ありますよ。
0049そじん
NGNGありが㌧♪
005029
NGNG>>44
了解しました。
基本原理は理解しているのですが，言葉の使い方は分からないですね。
つまりは蒸着=PVDですね。
逝ってよしと書かれたのは正直納得いかないですが。
0051そじん
NGNGにゃはははは、舞ってよし、喰ってよし、斬ってよし～♪
0052名も無きマテリアルさん
NGNG蒸着は>>46にも書かれているが、あまり宜しくない。
どうしても使いたければ「化学蒸着」と使うべし。
あと、あまりレベルの高くない人（材料的に厨房）の
言うこと、書くことを正しいと思わないこと。
0053そじん
NGNG和紙もときどき使うよ～。
煽ったり知ったかぶったりすると恐ろしく早く正確な情報が入ってくるんだよね。
005429
NGNG>>46でした。なんかいらないこと書いてますし。
聞き流しておいてください。
0055名も無きマテリアルさん
NGNG蒸着やスパッタの方が装置も安く済むよね。
よほどの膜が必要でなければＰＶＤで良いでしょ。
半導体のガスなんか匂いかいだ時にはもう死んでいる
ってのもあるらしいね。知らんとか痔ボ欄とか、そう？
0056親切な人
NGNGヤフーオークションで、幻の人気商品、発見！！！
今は無き「コピーガードキャンセラー」↓
http://page5.auctions.yahoo.co.jp/jp/auction/e5292701
ヤフーオークション内では、現在、このオークション
の話題で、持ちきりです。
0057名も無きマテリアルさん
NGNG005829
NGNG??
>>52
すると，29での書きこみも問題ないわけですね?
CVDでも蒸着の過程があるわけで，CVDと断っていますから。
コレ以上かくとまた叩かれそうなので，やめときます。
005928
NGNG私今まで29で書きこんでましたけど，28でした。
上も寝ぼけて変な文章だし。
はずかしぃ。鬱だ。
0060名も無きマテリアルさん
NGNGPH3萌え。
0061名も無きマテリアルさん
NGNGも、萌えってアンタ・・・(w
シラン、アルシンは駄目なのか？
0062そじん
NGNG0063名も無きマテリアルさん
NGNG萌えって、「燃え」たらかなりヤバイだろ。
0064生あるしん
NGNG着火したシランボンベを下手に締めると爆発するんで燃やしきるのがいいらしいが・・・
0065そじん
NGNG2人ほど完全年少したそうな。。。
0066名も無きマテリアルさん
NGNG0067大損
NGNG反応性ガスとしてオゾンを使っている人はいま
せんか？
オゾンのガスボンベって無いよね。やっぱり。
0068Pet
NGNGやっぱO2じゃない？
昔、TiCNなどの炭窒化膜の成膜するときに、
反応性ガスとしてシアン系ガス使えないかなーと考えたことあるな。
0069大損
NGNGO2だと絶縁性の高い膜が作れないんです。。
で、特許を探していたら、オゾンを一割ほど混ぜるようなことが書いて
あったんですが。。
オゾナイザーをつけるしかないのかなぁ。
ところで、ＱマスでO2とO3の比率って調べられるんでしょうか？
0070名も無きマテリアルさん
NGNG後、炭化珪素ってシランとプロパン以外考えられないの？
0071Pet
NGNG基板加熱してる？
0072大損
NGNGでもピンホールが多いみたい。
0073名も無きマテリアルさん
NGNG厨房ですみませんが教えてください。
6Hや4H-SiCをアモルファスでなく成膜したいのですが、
スパッタや蒸着でできますか？
それから基板がアモルファスなものだと、膜もアモルファスに
なってしまうのを避けることはできますか？
0074CPCD
NGNGピンホールが多いというのは
どの様に評価されているのですか？
SEMでの目視検査ですか？
0075大損
NGNGピンホールはSEMでも見えるのですが、評価はとしては、実際に
電圧をかけて行っています。今のところ３ミクロンで５０V程度まで
行きました。
それ以上かけると、膜が火を噴いてしまいます。
どうなんでしょうか？
0076ｽﾊﾟﾀﾘﾝｸﾞ
NGNG装置は何？
スパッタだったら、ICPやECRでO2プラズマを活性化させればいい。
あと、Heを少量まぜてペニング電離の効果を期待するのもよろしいかと。
0077CPCD
NGNG電気的評価を行っているのですね。
具体的にどのように行っているか
分からないのですが、
絶縁性の評価では電圧の高さより、
電流を測定した方が良いように思うのですが。
一定の電圧を印加し、
膜が無い時の電流量と、膜がある時の電流量の
割合でピンホール（貫通型）の評価が出来るのでは。
絶縁性の評価なら、電圧と電流が分かればオームの法則で
抵抗もでるし。
それともこんな理論は関係ないくらい絶縁性が高いのでしょうか。
0078大損
NGNG言っている意味が理解できていないのですが、
もう少しやさしく教えてください。
実際に私がやっている実験では、絶縁膜を金属膜
でサンドイッチにして、そこに電圧をかけています。
このとき、例えばデジボルの抵抗測定モードで測る
と、絶縁膜が容量を持つようにはたらくので、テスタ
ーのＣＲ時定数に従って、電流値が段々少なくなっ
ていきます。
その次にこんどは、ＤＣソースを持ってきて、電圧を
上げていきました。すると５０Ｖ程度でスパークが起
きてしまいました。
・・・と言うことですが、いかがですか？
ここまで来てなんですが、要するに絶縁性というより
耐圧の高い膜を作りたい、ということなんです。
ちなみに成膜にはＥＢ蒸着を用いています。
半導体分野では無いので、古典的な方法を使ってい
ます。。
Ｑマスの件はどうでしょうか？
0079名も無きマテリアルさん
NGNG動作圧力に注意。EBやっている圧力なら平気か。
0080名も無きマテリアルさん
NGNG0081名も無きマテリアルさん
NGNG何ですかそれ。
0082名も無きマテリアルさん
NGNG0083名も無きマテリアルさん
NGNG0084名も無きマテリアルさん
NGNG0085名も無きマテリアルさん
NGNGあ～ １時間でできる時もあれば今日なんか３時間半もかかりやがって！
たかだか0.４μ積むのにそんなに時間かかるなよ！
0086名も無きマテリアルさん
NGNGプロセスきちんと制御しているか？
背圧、製膜時圧力、基板温度、投入電力など。
日によって違うなんておかしいって
0087名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://www.veeco.co.jp/
0088名も無きマテリアルさん
NGNG全部いつもと同じれす
ターゲットが死んでるのかとも思われ
0089名も無きマテリアルさん
NGNG学べば学ぶ程プロセスの領域は化学の領域ではないかと思われてなりません。
実際、現場では化学を専攻してきた人達が多いのでしょうか？
企業側としても回路設計者として期待しているようですし、
先輩は一年目はプロセスに配属されたが二年目からは回路設計にまわされたと聞きました。
現場で働いている方がおられましたら教えていただけないでしょうか？
0090名も無きマテリアルさん
NGNG化学だけではアウト。
物理だけでもアウト。
まずは、物理と化学。
広い意味で材料系は両方必要ですな。
0091８９
NGNG修士で就職しようと思えば学校推薦を利用して大手メーカーには入れますが配属先は企業にお任せといった感じがします。
博士に進学し専門性を養ってから就職しようかとも考えていますが博士だとコネがないと就職が不利になると聞きました。
博士の就職活動は厳しいのでようか？
教えて下さい。
0092 ◆LiEca5zw
NGNG0093名も無きマテリアルさん
NGNG＞博士の就職活動は厳しいのでようか？
一般には厳しいというが、人によりけり。
楽な人は楽。ダメな人はダメ。
明暗くっきり。
確かにコネは無いより、あった方がいい。
コネは自分でつくることも必要。
コネと一言でいうが、
ダメな人はコネがあっても生かせない。
つか、紹介や仲介も取ってもらえない。
研究だけではなく、人付き合いも大事。
0094名も無きマテリアルさん
NGNG0095元某企業研究者
NGNG> 実際、現場では化学を専攻してきた人達が多いのでしょうか？
半導体の製造工程にいる人は化学屋がほとんどかな。
今の工程で問題となるのは金属汚染と発塵。
あとシリコン表面の酸化膜とか有機物。
化学屋の強い分野だね。
でも、工程を維持するのと新しく作るのは違うよ。
新規工程とか新規製造装置の開発は物理屋や材料屋も多い。
というか機械、電気、電子、金属、物理、化学いろんな方面のアプローチが必要。
一人で全部ってわけにはいかない。
あと、自分が何に向いているのかっていうのは、
本人よりも周りのほうがよく見えていることもあるよ。
この方面は違うと思っていても、
実際にその仕事をあてがわれてみると、
天職だと気付くときもある。
若いうちはいろんな可能性があるんだから、
これしか出来ないと自分の可能性を狭めないほうがいい。
0096元某企業研究者
NGNG> 博士に進学し専門性を養ってから就職しようかとも
現時点での話だけど、日本の企業は大学の教育にそれほど期待していない。
専門性は社内で養う。
大企業だと社内で論文博士を結構取らせてくれる。
博士過程の学生を取りたがるのはむしろ社内の人材育成が出来ていない企業だね。
外資とか中小。
しかし、企業の期待と本人の適性が矛盾して不幸になったりする。
研究がしたいなら大学に残る（博士号必須）か企業の研究所に入る。
しかし、今半導体関係はどこも研究費削られているだろう。
経営者が真っ先に削るのは研究費。
今日の飯は工場と営業が作る。
研究所は明後日の飯と人材の一時保管場所。
最近大手企業の研究所から大学に移った人は多いよ。
ただし、昇進とか昇給を考えると研究より現場が有利。
今は気にしてないかもしれないけれど、結婚して家族が出来て、
家だとか子供の教育とか考えると金の問題は重要だよ。
それでも研究に打ち込んで歴史に自分の名前を残したい、
というなら、あえて艱難辛苦の道を歩むのも君の人生。
0097?3?^?e´?AE?????O`
NGNG○ それに、昇進とか昇給を考えると
0098元某企業研究者
NGNG0099MO
NGNGいきなりですが質問よろしいでしょうか？？
InGaAlPの四元でLEDの薄膜を生成する場合、ウエハーと生成膜のマッチングを
格子不整合率というらしんですが、これはどういう意味でしょう？格子とは？
0100名も無きマテリアルさん
NGNG格子とは結晶格子のこと。
基板と膜で材質が異なれば、原子の大きさが違うから、界面が
「不整合界面」になるでしょ。格子定数の違いの度合いが不整合率。
0101名も無きマテリアルさん
NGNG0103100
NGNGこれからはマルチポストやめれ。
0104名も無きマテリアルさん
NGNGかちゅーつかえYO
0105名も無きマテリアルさん
NGNG0106名も無きマテリアルさん
NGNG0107名も無きマテリアルさん
NGNG0108名も無きマテリアルさん
NGNG0109名も無きマテリアルさん
NGNGスパッタでもＣＶＤでも１Åの精度で作ってるぞ
0110名も無きマテリアルさん
NGNG速くするとすればどんなもん？
0111名も無きマテリアルさん
NGNG0112Applyed Physics
NGNG0113名も無きマテリアルさん
NGNG0114名も無きマテリアルさん
NGNG未だにどうしてこんな薄い板に絵や画像が出るのかが分かりません。
0115.
NGNG0116山崎渉
NGNG0117名も無きマテリアルさん
NGNG0118名も無きマテリアルさん
NGNGそんなの知らん
0119名も無きマテリアルさん
NGNGうちもしらん
0120名も無きマテリアルさん
NGNG誰もしらん
0121名も無きマテリアルさん
NGNG0122名も無きマテリアルさん
NGNG0123名も無きマテリアルさん
NGNG調べまくりです
0124名無しさん＠１周年
NGNGPE-CVDやってる奴は男の子が生まれないって
ことないか？漏れの周りは生まれたの女の子ばかり
だったんだが。。。
電磁波浴びまくり、チャンバ開けてケミカル
吸いまくりの影響かとおもうんじゃが。
で、先日漏れは仕事やめた。もう半導体とは
距離をおくことにした。
0125名も無きマテリアルさん
NGNGうちには
X線測定で女しか産まれない
ならある
0126幹部社員様＠F通電デバ
NGNG何だ、そりゃ
ひゃっひゃっひゃ、こりゃ傑作
0127名も無きマテリアルさん
NGNGInGaAlPのクラッド層ぐらいしか用途が見当たらないんですけど・・・
0128山崎渉
NGNG0129山崎渉
NGNG（ ＾＾ ）＜ ぬるぽ（＾＾）
0130名も無きマテリアルさん
NGNG0131名も無きマテリアルさん
NGNG0132名も無きマテリアルさん
NGNGそれは有名な伝説ですね。プロセス技術者全般に女の子が多い
らしいとか言われています。
この伝説の怖いところは、学会なんかで話すと、どの企業の人
も同意すると言うか、統計的に自然発生していると思われる点
です。
プロセスに依存して、女の子率が高いので、それに関してある種の
ジョークがあります。
要点は、では回路設計屋さんはどうか、と言う物です。
答えは、男の子も生まれる、その心は、大抵リソに張り付いている
から、だそうです、最近はどうなんでしょう。
0133名も無きマテリアルさん
NGNGマジで今すぐに抜けるよ！ ２５０の動画が完全無料で見放題だよ！
入り口はココだよ http://www.gonbay2002.com
0134名も無きマテリアルさん
NGNG0135名も無きマテリアルさん
NGNGオレもそれ聞いた事ある。染色体をなんとかとか言ってた。
教授が女ばっかり産むからか。
0136名も無きマテリアルさん
NGNG0137名も無きマテリアルさん
NGNG0138名も無きマテリアルさん
NGNG0139かおりん祭り
NGNG( ＾▽＾) ＜ こンなのかございまーす♪
http://togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin05.html
http://www.togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin02.html
http://togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin06.html
http://www.togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin08.html
http://togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin01.html
http://www.togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin10.html
http://togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin04.html
http://www.togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin03.html
http://togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin09.html
http://www.togoshi.ginza.st/kaorin/kaorin07.html
0140山崎渉
NGNG0141山崎渉
NGNG0142名も無きマテリアルさん
NGNG0143名も無きマテリアルさん
NGNG0144名も無きマテリアルさん
NGNG0145山崎渉
NGNGﾋﾟｭ.ｰ ( ＾＾ ） ＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
＝〔~∪￣￣〕
＝ ◎――◎ 山崎渉
0146名も無きマテリアルさん
NGNG0147名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://angelers.free-city.net/page002.html
0148名も無きマテリアルさん
NGNG0149名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://nigiwai.net/windstorm/
0151名も無きマテリアルさん
NGNG0152名も無きマテリアルさん
NGNG0153直リン
NGNG0154名も無きマテリアルさん
NGNGそうなんですか。
中村修二氏がMOCVD装置を改造したなんていうけれど、
普通に考えたら贅沢な環境だったってことなんですかね？
0155144
NGNG中村さんの著書のどっかに、当時の日亜の企業規模からするとかなり
大きなお金を投資してもらった、ということは書いてありましたね。
で、中村さんのすごいとこは、その実験装置をどんどん自分で改造
していったとこだと思いますね。普通のセンスでは実験装置の改造
って最低月単位はかかりそうなもんですが、自分で旋盤回しながら
ほぼ daily で改造してったそうです。
0156名も無きマテリアルさん
NGNGありがとうございます。
旋盤回…研究者でありながら職人としての力量が凄まじかったのですね。
少なくとも、大学で与えられたものだけ勉強しているような
受身の態勢ではイカンという教訓にもなりますね。
0157名も無きマテリアルさん
NGNG0158名も無きマテリアルさん
NGNG加工してリアクタを改造したとこがエライ。
0159名も無きマテリアルさん
NGNGピンクローター１９０円から～
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0160名も無きマテリアルさん
NGNG0161名も無きマテリアルさん
NGNG0163名も無きマテリアルさん
NGNG研究室吹き飛ぶかな？
0164名も無きマテリアルさん
NGNG0165動画直リン
NGNG0166名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://yahooo.s2.x-beat.com/linkvp/linkvp.html
0167名も無きマテリアルさん
NGNG私んとこは、シリコン基板では中性洗剤でよーく洗い、
２～３回蒸留水で超音波洗浄、２～３回有機溶媒で超音波洗浄、
で最後に有機溶媒で煮沸させて、一気に基板を取り出すことに
より表面の膜（酸化膜ではない、単なる汚れ）をとり、
すぐにチャンバーのＮ２パージしたルームに入れて、
セットするんですが。
シリコンでは、どんな洗浄方法があるんでしょうか？
ちなみに、私んとこは、クリーンルームではやってないんです。
完璧な洗浄方法は、やはり酸を使うことなのでしょうか？
0168名も無きマテリアルさん
NGNG焼かないの?シリコン使ってないからわかんないけど
0169動画直リン
NGNG0170名も無きマテリアルさん
NGNGフッ酸使うんじゃないの。
0171名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://nigiwai.net/windstorm/
0172名も無きマテリアルさん
NGNGシリコンはやっぱフッ酸使うのが正解？
石英はセミコクリーンってやつ使ってるけど
0173名も無きマテリアルさん
NGNG0174名も無きマテリアルさん
NGNGただし非常にキケン。カクカクブルブル...
0175名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://www.uvsor.ims.ac.jp/beamline/bl2b1/eico/guidebooks/cleanSisurface.html
とかどうすか。
0176名も無きマテリアルさん
NGNG薄膜で、装置の試運転って感じで、シリコン基板に純鉄を
ＰＬＤ（パルスレーザー）法で付けてみました。
洗浄って人によって違うんですよね。
ＭＯＣＶＤやってる人は、クリーンルーム内だからでしょうか、
へたに洗浄するのは良くないと言って、そのままチャンバーへ
入れる人もいれば、
有機溶媒を使う人もいれば、窒素ガンを使う人もいれば、
フッ酸という恐ろしい物を使う人もいれば…。
なかなか難しいものです。
0177名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://yahooo.s2.x-beat.com/linkvp/linkvp.html
0178名も無きマテリアルさん
NGNGレーザーだとターゲットから板状にはがして飛ばすんで
緻密なものは望めないって言われたんけど
ＰＬＤのほうが安定して稼動できそうだからＰＬＤ
使いたいんだけど
0179名も無きマテリアルさん
NGNGつくんでしょうか？
0180名も無きマテリアルさん
NGNG0181直リン
NGNG0182名も無きマテリアルさん
NGNGpulse laser depositionです。
パルスレーザーを、膜にしたい物質にあてて、レーザーのエネルギー
を使って、物質を瞬間的に分子をばらばらにして、基板へ蒸着
させる方法です。
0183名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://homepage3.nifty.com/coco-nut/
0184名も無きマテリアルさん
NGNGうざい。まずはお前から鍛えろ。
0185名も無きマテリアルさん
NGNGそれを協力な磁場で加速してターゲットに叩きつける
蒸着装置ってないの？
どうもレーザーだけで飛ばすのって、しっくりこないんだけど
0186動画直リン
NGNG0187名も無きマテリアルさん
NGNG貼りまくってやっーと月４０万円稼いぎましたｗｗｗ。
参加は無料なので参加してみるだけ参加してください。
自分でリンクを貼るより紹介者を集めた方が効率が良いようです。
紹介者の１０％が自分の利益になります。
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0188名も無きマテリアルさん
NGNGイオンビームスパッタはどう？
むしろ素直にスパッタリングはだめ？
0189ＣＰＣＤ
NGNG汚れがつかない方法を考える。
最初から金蒸着する。
反応しない。
0190カラスミキング
NGNG水熱合成法がいいんじゃないですか？
桐蔭横浜大や東工大で研究してるらしいですよ～
なんでも24hで10μmの薄膜をつくれるらしい。
0191名も無きマテリアルさん
NGNG洗浄は、必ず 基板にダメージをあたえます。したがって、どの程度の
ダメージが許容できて、最終的にどのような表面が必要かを考えて
洗浄法を選択することが必要です。
基板として どの周期の粗さが重要なのかを考えて洗浄することが必要です。
目標を抜きにしては語れませんよ。
研磨してそれほど経っていないSiウェファなら大抵の用途には何もしない
方がきれいだったりします。ただ 保存が悪いと(パッケージを開けなくても)
半年も経つといろいろと問題が起きますが...
0192あぼーん
NGNG0193名も無きマテリアルさん
NGNGそれを、ＪＪＡＰに大作の論文に投稿してるのを幾度となく
みてきました。
けど、読むの疲れるのでいつもその手の論文はresultしかみてません。
それと、今採用してる洗浄法は他の人がそうやって実験で最適と判断した
洗浄方を教えてもっらって、その実験で得た、独自の調合をした洗浄液
を使って、洗浄してます。
0194名も無きマテリアルさん
NGNG0195あぼーん
NGNG0196名も無きマテリアルさん
NGNG0197名も無きマテリアルさん
NGNGhttp://science.2ch.net/test/read.cgi/material/1027510492/l50
知子タン…
■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■■
http://ip.tosp.co.jp/Gm/TosGm100.asp?I=nomaken&P=0&CGP=1&NGP=259
↑
ヘルペスらしい･･･
628 ：ぼるじょあ ◆yEbBEcuFOU ：03/06/21 11:57
（・３・） エェー とりあえずヘルペス女は補導だＮＡ！
633 ：名も無きマテリアルさん ：03/07/04 04:42
スーパーフリフリでしょ
↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓
吉岡 知子さん 理工学部物質開発工学科
http://www.campuspark.net/missinternational2003/diary007/
0198名無しさん
NGNGみなさんは、銅の基板はどのように保管していますか？
専用のケースや真空で保管したいところですが、
うちの研究室では、基板を包装紙にくるみ、机の中など乱雑に放置してあります。
銅は酸化などの問題がありますが、何日くらい放置しても大丈夫なのでしょう？
それと、自分にとって今一番悩ましい銅膜の配向性の問題なのですが、
（100）面と（200）面の関係（結晶の成長方向が同じって事くらいしか）
がわかりません(ToT)
0199名無しさん
NGNGとの関連性はありますか？
また、これらに関する論文などはあるでしょうか？
0200山崎 渉
NGNG__∧＿∧_
|（ ＾＾ ）| ＜寝るぽ（＾＾）
|＼⌒⌒⌒＼
＼ |⌒⌒⌒~| 山崎渉
~￣￣￣￣
0201山崎 渉
NGNG__∧＿∧_
|（ ＾＾ ）| ＜寝るぽ（＾＾）
|＼⌒⌒⌒＼
＼ |⌒⌒⌒~| 山崎渉
~￣￣￣￣
0202山崎 渉
NGNG│ ＾ ＾ │＜これからも僕を応援して下さいね（＾＾）。
⊂| |つ
（＿）（＿） 山崎パン
0203名も無きマテリアルさん
NGNGその質問はやばいだろ。とりあえずThompson@MIT
の論文でも読めば？彼はおそらく、世界最強。
0204名も無きマテリアルさん
NGNGジルコニア、酸化チタン、ステンレス、ＳｉＣの粉末を探しています
０．３～１ミクロン位で、粒径のそろった物を探しているのですが・・・
0205名も無きマテリアルさん
NGNG意図的に基板に傷でもつけるんでつか？(そんなわけない)
0206名も無きマテリアルさん
NGNG"atomic peening effect"がよくわからない・・・
つまりスパッタ時のAr圧が低下するとAr原子1つがもつエネルギーが
大きくなって、スパッタされる原子のもつエネルギーも大きくなるってこと?
0207名も無きマテリアルさん
NGNG0208名も無きマテリアルさん
NGNG蒸着とかのばあいって、やっぱZ軸方向に成長するから(001)のほうがええんやろか
と最近思う・・・。
0209名も無きマテリアルさん
NGNG0210名も無きマテリアルさん
NGNG酸化物系だとＰＬＤってイメージが強いんだが、教官ができるって言い張って困ってます。
0211名も無きマテリアルさん
NGNGパワーが小さいんで、酸素が抜けるような気はしますな。
0212名も無きマテリアルさん
NGNG0213名も無きマテリアルさん
NGNGストイキを保てないでしょう。
その教官はDQNですね。
0214名も無きマテリアルさん
NGNG0215名も無きマテリアルさん
NGNGでもウチのが安いせいか古いせいか知らんけど使う人によって値変わりまくり
同じ人がやっても日によって変わりまくり
同じ日に連続して計らんとデータの比較ができん
0216学生さんは名前がない
NGNG0217名も無きマテリアルさん
NGNGまあ俺が下手なんだろうけど
0218名も無きマテリアルさん
NGNG基板加熱しないと膜がすぐ基板から剥がれるし…
銅薄膜作ってる人ってどんな条件でやってます?
0219名も無きマテリアルさん
NGNG厚いと表面の粗さは目立つけど、特に剥離とかはしませんよ。
だいたい Ar 1Pa, DC 100W くらいかなあ。
0220名も無きマテリアルさん
NGNGターゲットとバッキングプレートってどうやって接合してますか？
0221名も無きマテリアルさん
NGNGてゆうか、加熱すると酸化するほど水だか酸素だかが多い装置で
まともに成膜できるの?
成膜レートにもよるけど不純物入りまくりのような気がするけど。
0222名も無きマテリアルさん
NGNG0223名も無きマテリアルさん
NGNG／-ニﾆﾍヾヾヾヾヾヾヾヾヾヾ｀ｰ-､
./ｰ二㌃ ｀ﾞ `ﾞ ﾞ｀ヾヾヾヾヾヾヾヾ､ｼﾅヘ
仁一彡 ﾞ､ヾ､ヾヾ ﾞﾍイ〃メ入
f‐ﾆ=ﾂ ,.' - ､ __ ﾁ彡ニ┤
!彡ﾆヽ ｀ ｰ -- 二 _ｰ_-- 三ニ-｝
V;〃ﾗ /〃ﾆｰ ￣ ﾒ二ーｦ
ﾊﾃj ,. ﾆ､ ､ ､tﾍヾｉ､ ヾミﾆソ
.l. ﾚ < (・) > .; .;:' ,.= ､ lﾐ,‐ｦ
! l 、 ￣ ,! .i < (・) > ﾚ' ﾉ
l ﾄ 、 ｀ '"´ ,! l ､ ￣ , : ,j
`1ﾞヽ ,! l ｀ ´ ,.ｲ ,/
l '; ,.:' (´,､ ,. ヽヾ ,.:' /`
.| ; ,:' ｀ ´ ′ヽ ,.' /
! ; ,.' _,,,＿ __ ; ;' /
', ﾞ､"ｰ-ニニニ=ヽ ,.' /
ヽヾ ｀ー--'''ｰ-一''′ ／
｀ヽ､ ､ ＿ノ／
｀ ー--一''''"´
仙台の緑ヶ丘に住んでいる
わしの妹のところに無言電話をかけてくるやつは許さん
電話会社に盗聴させるぞ
0224ＢＡＫＡな学生
NGNGバルクＰＺＴ板をガラスの板にはさみ、研磨剤アルミナを用いて自らで
削るということは可能ですか？？実際にやってみて段差計で測ったんですけど
平面性が悪くて。ウェハを研磨する場合だと、なにか装置を使って削るん
ですよね。どなたか知恵をお貸してください。お願いします！！
0225名も無きマテリアルさん
NGNGこれで何したいの?
赤外線のセンサでも作るの?
0226名も無きマテリアルさん
NGNG基板を包装紙にくるみ、机の中など乱雑に放置してあります。
包装紙にくるんでるんですか？
0227名も無きマテリアルさん
NGNGこれからは、圧電性を利用するのがメインです
0228名も無きマテリアルさん
NGNG剥離の問題については未解明の事も多いのですが、他でできて自分ができない
場合、一般的な事（基板洗浄等）に注意すればよいと思われます。
装置の構成にもよりますが、例えば base pressure が甘いため剥離する人
もよく見かけます。また、マグネトロンといえどスパッタ中の温度上昇を
測定しないことが、与えたパラメータと熱の影響を誤った認識でとらえ、
結果として実験手法を間違える方も多くいらっしゃいます。理論を学ぶ
事は大切ですが、まずは薄膜作製における基本的流れを模倣してみるのは
いかがでしょうか？
0229名も無きマテリアルさん
NGNG0230名も無きマテリアルさん
NGNGなんかここよくわからない専門用語ばかりなのですが、
薄膜プロセスって楽しいんですか？
0231名も無きマテリアルさん
NGNGはまるよ～、一生抜け出せないかも。
0232230
NGNG0233230
NGNG0234名も無きマテリアルさん
NGNGいまいちよくわからん。
0235名も無きマテリアルさん
NGNGレートとか面積とかは実際のところどうなんでしょう
0236名も無きマテリアルさん
NGNG0237名も無きマテリアルさん
05/01/26 13:47:34研究室の紹介でそんな言葉を聞いたのですが・・・
0238名も無きマテリアルさん
05/02/01 17:18:44と、先日の授業で先生に聞きました。
それって位置の制御が難しいらしいのですが、
位置の制御ができたらどう素晴らしいのでしょうか？
詳しい人いますか？
0239ririkara
05/02/11 11:59:590240名も無きマテリアルさん
05/02/15 01:32:420241名も無きマテリアルさん
05/02/15 01:54:17大きすぎ。
ＦＩＢとかの加工じゃ駄目なの？
時間はかかるが。
0242名も無きマテリアルさん
05/02/17 01:19:52選択的に酸化させる技術あるよね。でエッチングして再成長で
量子ドットの位置制御やってたけど。
0243名も無きマテリアルさん
05/02/21 03:52:34ことを卒論でやっていました。
中間発表会のときに別の研究室の理論屋さんの助手から
最初っからそういう形に成膜すればいいじゃん
と言われた。本人は笑いをとったつもりらしい。
0244名も無きマテリアルさん
05/02/21 23:38:320245名も無きマテリアルさん
05/02/23 00:32:44知ってる方いたら教えてください
0246名も無きマテリアルさん
05/02/24 14:50:260247名も無きマテリアルさん
05/03/11 14:10:580248名も無きマテリアルさん
05/03/13 17:17:56原料にフッ素が含まれているため対向電極の銅が
腐食される問題を何とかできないかと考えています。
何かいい知恵があったらお貸し願えませんか？
0249名も無きマテリアルさん
2005/04/27(水) 00:05:350250名も無きマテリアルさん
2005/04/27(水) 23:03:58有機分子では自己整合とかもあるし。一概に理論屋の助手の
いうことがおかしいとはいえない。ま、この場合はおかしいけどな。
一応研究と名のつくことをやるんなら、エッチングで作るような
至極当たり前のことでなく、なんか新しい手法で構造を作るような
ことを考えられるようになりたいものだ。
0251名も無きマテリアルさん
2005/08/31(水) 17:28:420252KAP
2005/09/05(月) 21:37:220253名も無きマテリアルさん
2005/09/07(水) 19:25:020254名も無きマテリアルさん
2005/09/08(木) 18:30:570255ゆう
2005/09/09(金) 08:31:050256& ◆xWh2ZLVRdc
2005/09/16(金) 12:00:04採算度外視でやるならエキシマレーザーで可能
0257名も無きマテリアルさん
2005/09/17(土) 21:53:18■ ■ ■ ■
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0258名も無きマテリアルさん
2005/09/18(日) 11:57:25を作っているんですが、膜厚計がなくてどのく
らい蒸着していいのか分かりません。真空度、
昇華温度等にもよると思いますが、
助言よろしくお願いします。
0259名も無きマテリアルさん
2005/09/18(日) 23:06:55そもそもどうやって膜を評価するつもりなの？
0260名も無きマテリアルさん
2005/09/20(火) 00:39:37組成の制御が難しいんだよねこれが・・・
0261名も無きマテリアルさん
2005/09/27(火) 15:17:350262名も無きマテリアルさん
2005/09/28(水) 05:56:050263名も無きマテリアルさん
2005/09/28(水) 13:56:220264名も無きマテリアルさん
2005/09/30(金) 01:49:02特に定義はないと思うけど、感覚的には１μm未満、
都合により、１０μm弱あたりまで使ってたりするけど。
0265名も無きまてりある
2005/10/03(月) 11:19:18CuPcとF16CuPcの配向の比較をしてみようと試みておりますが、フッ素が付加されたことで違いが出るでしょうか？
アモルファスではちょっと…。
0266名も無きマテリアルさん
2005/10/16(日) 01:42:34このことについてご存知の方いらっしゃいましたら教えていただけますでしょうか。
単に酸素や水素分子が存在すると、そちらと反応してしまうから、という理解でよろしいのでしょうか？
0267名も無きマテリアルさん
2005/10/16(日) 01:58:46おいおい、CVDはどうすんだよ・・・。
0268名も無きマテリアルさん
2005/10/17(月) 01:01:54膜が柱状構造（多結晶）になる場合、
アモルファスにするには、一般的には、
圧力やパワーをどう振ればいいんでしょうか？
あと、単結晶にする振り方も教えてください。
0269名も無きマテリアルさん
2005/10/25(火) 10:37:31分野によると思う．
うちでは100nmこえると厚膜って感じがする．
量子効果デバイスとかの超薄膜を扱う人たちは数十nmでも厚いイメージ．
いちいち超つけたりしないから，薄膜というと数nmを指す．
「一般的」ってのは無いんじゃないかなぁ．
0270名も無きマテリアルさん
2005/12/21(水) 02:04:44（薄膜をデバイスと使用する際に）何か良いことがあるんでしょうか。
ご教授お願いします。
0271名も無きマテリアルさん
2005/12/21(水) 13:00:25起こすことから回避され、アモルファス膜を使うのが常識です。これに対し、
完全な単結晶エピ膜は、絶縁性、界面特性の観点からアモルファスや多結晶より
も有利なのは明らかですよね。
ちなみに「結晶がエピタキシャル成長する」という表現はおかしい。原子また
は分子がエピタキシャル成長して結晶になるんだから。結晶にならない場合の
方が多いけど。その場合はエピタキシャル成長とは言わないですね。
0272名も無きマテリアルさん
2005/12/21(水) 23:52:03整合して膜の結晶方位も特定の向きになることを言う…のだと
思っていました。
ので、エピタキシャルではない結晶薄膜もありうるので、自分は
「結晶がエピタキシャル成長する」と言っても、間違いだとは
言い切れないなあ。まあ確かに違和感はあるけども。多結晶膜や
配向膜を「結晶膜」に含めるかどうかの違いですかね。
0273名も無きマテリアルさん
2005/12/24(土) 04:13:38俺があの研究室ではじめて単結晶膜の作成に成功したときは教授も喜んでくれた
会社はつまんね
あいつらちゃんと研究進めてるかな・・・ﾃｰﾏ打ち切ってたら笑えるわ・・・
0274名も無きマテリアルさん
2005/12/25(日) 22:22:18今となればいい（？）思い出
スレ違いすまそ
0275名も無きマテリアルさん
2005/12/25(日) 23:36:460276名も無きマテリアルさん
2006/01/02(月) 07:55:32恐ろしく遅レスだが出ると思うよ．
実際にVOPcとF16VOPcでは配向に違いがでる．
むしろ ，既存論文の検索をしたほうがいいと思われ．すでにやられている可能性大．
0277名も無きマテリアルさん
2006/01/30(月) 17:24:08ってどういうものなんですか？
0278名も無きマテリアルさん
2006/02/15(水) 04:25:12SiH4酸化膜、TEOS酸化膜の成膜で、例えば膜厚均一性が悪いのは何が効いてるとか、
ｽﾄﾚｽ（反り）が小さいのはＬＦが弱いからとかの関係資料。
処理室の構造なんかでも変わるでしょうが、大まかなもので結構です。
0279名も無きマテリアルさん
2006/02/20(月) 17:03:01でやると凄く粗くなるんですが、セロ
ハンテープじゃだめなんですか？
0280名も無きマテリアルさん
2006/02/21(火) 21:37:27今酸化皮膜作ってるんですが、試料の表面仕上げの違いで
表面に皮膜が付くものと付かないものがあるんです。
一つが鏡面仕上げで、もう一つが400番まで湿式研磨した炭素鋼です。
溶液はアルカリ溶液です。
やっぱ表面電位の違いとかそんな感じですかね？
0281名も無きマテリアルさん
2006/04/23(日) 22:41:520282名も無きスパッタさん
2006/05/02(火) 11:28:25基本的なﾚｼﾋﾟの振りは色々試したのですが何かよい策は無いでしょうか。
Al-Cu、Al-Si等です。
0283sage
2006/12/17(日) 23:19:410284名も無きマテリアルさん
2007/05/03(木) 22:06:570285名も無きマテリアルさん
2007/05/29(火) 19:35:28どうなったの？壁面溶けた？
0286名も無きマテリアルさん
2008/02/14(木) 17:32:55これどうやって訳せばいい？
0287名も無きマテリアルさん
2008/02/14(木) 21:24:380288名も無きマテリアルさん
2008/02/16(土) 01:45:32真空蒸着で、使用する基板はPMMA
これにＳｉＯ２を蒸着してみたいのですが
やってみた方いますか？
0289名も無きマチリアルさん
2008/05/22(木) 05:46:12392 ：Appellation Nanashi Controlee：2008/05/20(火) 02:34:04 ID:e58SyeEK
「ここはワイン板だから」と、ワイン板であることを根拠に寝言を言ってるワイン板
新参者のチミ！ オマエさんがいるのは、サイゼリヤスレなんだぜ？
ワインの話なんか無くたって、食い物やビールの話題が延々と続いてもOKなのは、
言ってみればこのスレの伝統そのもの。文句があるのなら、 >1を百遍読み直すべき。
ま、言ってみれば、板ルールなどクソ喰らえの治外法権スレだな。香港にあった九龍城
みたいなもん。
これまでも正論を模した荒らしに耐えてきたし、今後も好きなようにやらせて
もらうよ。ここは俺たちの「サイゼリヤスレ」なんだよ。これは永遠に変わらないし、
ワイン板でやらせてもらうことも変わらない。文句があるならこのスレを汚さないで、
自治スレにでも書き込んでくれ。あまり俺たちを本気にさせないでほしいな。
http://food8.2ch.net/test/read.cgi/wine/1209713858/l50x
0290名も無きマテリアルさん
2010/05/26(水) 12:36:100291名も無きマテリアルさん
2010/06/10(木) 04:12:34■ このスレッドは過去ログ倉庫に格納されています