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リフトオフ用の耐熱材料教えてください

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0001名も無きマテリアルさんNGNG
厚さ20ミクロンのアルミ蒸着膜をリフトオフしたいです。
蒸着時に200℃位で加熱するので、普通のレジストだと
ガスが出てダメです。耐熱性のあるレジストあるいはこれに
代用できる材料ってないでしょうか?
0002名も無きマテリアルさんNGNG
消えろ
0003名も無きマテリアルさんNGNG
 
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