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CMP(平坦化)装置について
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0058
名も無きマテリアルさん
2006/06/02(金) 22:36:56
CMPがどんな役割のするのがいまいち不明なのですが
プロセスに詳しい方教えて下さい
ウェハーの細分化?に必要らしいですが
ようは研磨してウェハーには何のメリットがあるのでしょうか?
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