>>85
空のフォルダとファイルで試した所、エラーはでませんでした。
しかし、問題の〜関係のファイルだけ取り出してバックアップした所やはりエラー。
ただ、バックアップ自体は出来ているようで、復元も問題なくできました。
でもやはり気持ちが悪い。

そこでいろいろ試してわかったんですが、
エラーファイルからコピーペーストでリネームすると、
そのファイルはエラーになります。
コピーペーストではなく、直接打ち込んで書き換えるとエラーはでません。
それに良く見たら「〜」だけではなく、他の記号でもエラーがでているみたいです。
iTunesのCDDBから取得したファイル名なんですけど、読めないファイル名とか
あるんですかね。見た目は同じ「〜」何ですけど…。
ちょっと面倒ですが問題のファイル名を全部書き換えることにします。
お騒がせしました。