●東北大学未来科学技術共同研究センター●
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0068オーバーテクナナシー
2005/10/31(月) 19:53:08ID:hYkzBYnm未来情報産業研究館(寄付建物)
http://www.bureau.tohoku.ac.jp/sisetubu/index.html
超大規模半導体集積回路の設計・製造・検査を融合一体的に研究開発する施設である。
既設クリーンルームの「塵がなく温度を制御した施設」という思想にとどまらず、半導体の信頼性を格段に向上させる為、「バラツキ、変動、揺らぎの一切存在しない施設」を構築することを目指した。
建物の構成は地下1階・1階・2階が1層目、3階・4階が2層目で、クリーンルームが2層重なっている。
また、クリーンルームに窓を設け、一般の方も、内部の研究の様子を垣間見れるような仕掛けとしている
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