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bake
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質問スレッド@化学板130
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0367
あるケミストさん
2019/07/15(月) 16:55:43.15
半導体用のフッ化水素は最低でも純度ファイブナイン(99.999%)だけど
サムスンとか作ってる10ナノメートル級の回路だったら日本が提供してるイレブンナイン(99.999999999%)を前提に工程が組まれてるらしい
そのレベルのフッ化水素なんてすぐ作れるもんじゃない
ましてや、純度が同レベルでも不純物のサイズとか種類とかが違うと工程検討し直しになる
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